판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-332H #9048858

CANON/ANELVA SPF-332H 스퍼터링 장비는 자철 제어 기술을 사용하는 자동화된 계면 스퍼터링 시스템입니다. 최대 15cm x 30cm 면적의 매우 높은 정밀 에칭, 증착 및 전기 도금 작업을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 반도체 산업의 실험실 및 생산 공장에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 제어 환경에서 다른 재료를 스퍼터링하기 위해 멀티 플레이트 스퍼터 헤드 (Multiplate sputter head) 가 장착 된 CNC (Computer Numerical Control) 가 제공됩니다. Multiplate 스퍼터 헤드는 더 높은 처리량과 향상된 수율을 위해 설계되었습니다. 설계 에 포함 된 자기 "실드 '는" 이온' 의 폭격 을 최소화 시키고 입자 들 이 균일 한 방향 으로 "스퍼터 '를 받도록 보장 해 준다. 이 도구에는 플라즈마 들뜬 (plasma excitation) 을위한 독점적 인 폐쇄 루프 스퍼터 (closed-loop sputter) 전원 공급 장치와 히터가 장착되어 있어 프로세스가 고도로 재현 가능하고 정확한지 확인합니다. 에셋은 완전히 프로그래밍이 가능하며, 레시피를 사용자 정의하고, 사용자 정의 프로세스 조건을 만들고, 프로세스 간에 쉽게 전환할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 이 모델은 고온 프로세스의 자동화된 실시간 제어에 사용될 수 있습니다. 이 장비는 또한 스퍼터링 프로세스를 모니터링하기위한 자동 가스 유량 조절, 스퍼터 호 수, 광학 방출 분광학 (OES) 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 작업 분위기를 변화시키거나 작업 환경 오염을 방지하기 위해 적재 잠금 챔버 (load-lock chamber) 가 장착되어 있습니다. 프로세스 최적화 및 유연한 샘플 처리 (sample handling) 기능을 제공하기 위해 사용자에게 추가적인 유연성을 제공하는 10 개의 로드 잠금 장치 (load lock) 가 있습니다. 이 기계에는 유해 프로세스 가스를 안전하게 제거하는 배기 도구도 포함되어 있습니다. 자산은 세계에서 가장 엄격한 표준 (예: JEDEC, SEMI 등) 을 준수하므로 많은 실험실, 산업 생산 라인 및 기타 고급 실험실에서 사용할 수 있습니다. 또한 자동차, 항공 우주 및 의료 기기 응용 분야에도 적합합니다. 전반적으로 CANON SPF-332H 스퍼터링 모델은 빠르고, 정확하며, 저렴한 프로세스를 지원하는 고급 기능을 갖춘 사용자 친화적 인 스퍼터링 장비입니다. 각기 다른 업계의 다양한 고급 프로세스에 대한 처리량 및 생산량 향상 효과를 제공합니다 (영문).