판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-312W #9031244
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ID: 9031244
빈티지: 1990
Sputtering system
Substrate size: 105 x 105 mm
Taget: 75 mm
Cryo pump
1990 vintage.
CANON/ANELVA SPF-312W는 이미 인기있는 SPF-312 시리즈에서 파생 된 다기능 진공 스퍼터링 장비입니다. 이 기계는 진공에서 물리적 증착 (physical deposition) 을 사용하여 자기 기록 매체 (magnetic recording media), 전자 부품, 건축 장식 및 기타 특수 재료와 같은 다양한 박막 제품을 생산하도록 설계되었습니다. 캐논 SPF-312W (CANON SPF-312W) 는 3축 설계로 설계되었으며, 사용자 정의 및 상용 구성 요소를 모두 사용할 수 있는 모듈식 아키텍처를 사용합니다. 시스템의 기능에는 로드 잠금, 8 대상 마그네트론 및 이중 스퍼터 건이 포함됩니다. 마그네트론 스퍼터 목표 자체는 5 개의 "V-" 모양의 자석이있는 단일 바디로 구성됩니다. 이 설계는 3 개의 축에서 목표물의 움직임에 대한 뛰어난 제어성을 제공합니다. 스퍼터 테일 (sputter tail) 은 전체 목표물에 균일한 스퍼터링 (sputtering) 프로파일을 제공하는 반면, 작동하기 쉬운 수동 조정은 원하는 스퍼터 전원 및 속도를 선택할 수 있습니다. 이 기계는 스퍼터링 외에도 증발 (evaporation), 전자빔 증착 (e-beam deposition) 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. USB 및 RS-232 인터페이스를 포함한 유연한 입/출력 장치 (Input/Output Device) 옵션을 통해 시스템을 매우 다양하게 사용할 수 있으므로 다른 장비 및 시스템과 쉽게 통합할 수 있습니다. 효율적인 진공 제어 장치는 낮은 진공 환경에서 입자를 10 ~ 10 Torr 미만의 압력 아래로 유지하도록 설계되었습니다. 또한, 기계는 압력 (pressure) 을 포함한 다양한 매개 변수에 대한 자동 보정 (auto-calibration) 과 필름 제작을위한 자동 프로세스 (automatic process) 를 갖추고 있습니다. ANELVA SPF-312W의 직관적이고 사용자 친화적 인 인터페이스는 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 멀티 터치 디스플레이 화면 (Multi-touch Display Screen) 을 사용하면 공구를 설정하고 프로덕션 프로세스를 제어하는 등 다양한 매개변수와 작업을 신속하게 액세스할 수 있습니다. 내장 모니터는 운영 상태, 압력, 온도에 대한 유용한 그래픽 정보를 실시간으로 보여줍니다. 전반적으로, SPF-312W는 가장 어려운 영화 제품의 생산을 위해 설계된 다기능 스퍼터링 자산입니다. 모듈식 설계, 사용자 친화적 인터페이스, 광범위한 프로세스 제어 기능을 통해 박막 (Thin Film) 생산, 코팅 프로세스 등 다양한 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다.
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