판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-312 #9299212

CANON/ANELVA SPF-312는 박막 증착 기술에 사용되는 다기능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 (sputtering), 증발 (evaporation), 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 등 박막 증착 프로세스를 정확하고 효율적으로 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 캐논 SPF-312 (CANON SPF-312) 는 두께, 구성, 균일성 등 필름 특성을 월등히 제어할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 이 스퍼터링 장치에는 300mm x 4 인치 직경의 원형 또는 정사각형 회전 음극 대상이 있습니다. 원형 (Circular) 대상은 가열되고 냉각되어 필름 품질과 효율성을 보다 정확하게 제어합니다. 대상은 2 단계 자기장으로 둘러싸여 있으며, 이는 균질한 스퍼터링 속도를 가능하게 할 수 있습니다. 균일 한 스퍼터링 속도는 목표에 정확하고 균일 한 전력을 제공하는 DC 및 RF 소스의 조합을 통해 달성됩니다. ANELVA SPF-312에 사용 된 가스는 특정 적용에 따라 선택되며 Ar, Ar/O2, Ar/N2, Ar/O2/H2 또는 추가 첨가제가있는 비활성 가스로 구성 될 수 있습니다. 기계는 기판에서 조절 가능한 압력의 전체 범위를 특징으로하며, 이는 몇 밀리토르 (millitorrs) 에서 1 토르 (torr) 까지 다양합니다. 이러 한 광범위 한 조절 압력 은 증착 과정 중 에 "압력 '을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. SPF-312 (SPF-312) 에는 목표물의 더 균일 한 범위에 대한 난기류를 달성하기 위해 조정 할 수있는 배플 (baffle) 도구가 장착되어 있습니다. 배플 에셋은 또한 증발 물질 (evaporated material) 에 의한 표적의 침식을 방지하는 데 사용됩니다. 이 모델은 최대 1,000 Å/hr의 고속 증착률이 가능하며, 균일성은 5% 이하입니다. 이 다기능 스퍼터링 장비는 빵판, 태양 전지, 반도체, LCD 및 OLED 디스플레이, 유리 및 다양한 세라믹 재료에 코팅을 제공하는 등 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 적절한 플라즈마 활성화를 사용하여 금속 및 기타 박막 증착 층 (thin-film deposited layer) 을 기판으로 제작하는 데 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 필름의 두께, 컴포지션, 특성을 제어하면서 여러 개의 박막 (thin film) 레이어를 생성할 수도 있습니다. 전반적으로 CANON/ANELVA SPF-312는 다양한 기능과 기능을 갖춘 다기능 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 로, 박막 증착 프로세스에 적합합니다. 조절 가능한 음극, 자기장, 조절 가능한 압력으로, 뛰어난 필름 품질과 균일성을 제공 할 수있는 안정적이고 견고한 스퍼터링 머신입니다.