판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-210H #9382541

CANON/ANELVA SPF-210H는 박막 증착 공정을 위해 설계된 건식 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 광전자 부품 제조, 평면 패널 디스플레이, 박막 마그네틱 헤드 (Thin-Film Magnetic Head) 와 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 스퍼터링 장치에는 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수있는 1,000-W 단일 주파수 (single-frequency) 전원 증폭기가 있습니다. 기계는 10-6 Pa (10-7 Torr) 의 진공 수준에 도달 할 수있는 높은 진공 챔버로 둘러싸여 있습니다. 또한 CANON SPF-210H는 완전 자동화 된 양극 어셈블리, 2 축 동작, 무선 주파수 (RF) 생성기 및 플라즈마 모니터를 갖춘 샘플 스테이지를 갖추고 있습니다. 이러한 모든 구성 요소는 컴퓨터 인터페이스를 통해 제어됩니다. 양극 어셈블리는 챔버에 고정 된 중앙 막대와 4 개의 카운터 전극으로 구성됩니다. 또한 입자 생산을 최소화하는 데 도움이되는 수냉식 메커니즘이 특징입니다. 샘플 스테이지는 선형 모션 가이드에 마운트되며 범위는 10mm x 10mm입니다. RF 발전기는 유도 코일과 LC 결합 회로로 구성됩니다. 이 로 말미암아, 그 도구 는 기판 에 손상 을 최소화 하거나 증착 하는 물질 을 "스퍼터 '할 수 있게 된다. 플라즈마 모니터는 전력 밀도, 전자 온도, 전자 번호 밀도와 같은 플라즈마 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 이는 자산이 균일 한 증착 프로파일을 달성하는 데 도움이됩니다. 또한 ANELVA SPF-210H에는 ASDS (Arc Damage Prevention Model) 가 장착되어 있습니다. 이 장비는 아크 전압 (arc voltage) 을 줄이고 고주파수 (high frequency arc) 를 방지하여 가능한 손상으로부터 샘플을 보호하는 데 도움이됩니다. SPF-210H는 신뢰할 수 있고 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 다양한 증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. 자동화된 기능과 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitor Systems) 을 통해 사용이 간편해지고 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 모든 박막 증착 프로세스 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.