판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-210H #9284046

CANON/ANELVA SPF-210H 스퍼터링 장비는 박막, 산화물 및 다층 구조를 제조하는 데 사용되는 고효율 시스템입니다. 고주파 RF 전원을 사용하여 비활성 가스로 대상 재료를 코팅합니다. 기판에 DC 바이어스가 적용되어 균일 한 필름을 만듭니다. CANON SPF-210H는 메인 챔버, 대상, 2 개의 전원 공급 장치, DC 바이어스 전원 공급 장치, 마그네트론 방전 소스 및 진공 챔버로 구성됩니다. 주 챔버는 균일 한 필름 증착을 보장하기 위해 온도 조절입니다. 알루미늄 (aluminum) 이나 다른 금속 (metal) 과 같은 대상 재료는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 에서 고성능 자석 (magnetic bottle) 으로 작동합니다. 이를 통해 넓은 면적과 균일 한 목표 스퍼터링이 가능합니다. 표적의 표면은 스퍼터링을 유발하는 고주파 RF 신호 (high-frequency RF signal) 또는 표적 재료의 플라즈마 분리에 의해 폭격된다. 신호는 마그네트론 방전 소스에 의해 생성됩니다. 4 사분면 DC 바이어스 전원 공급 장치는 높은 증착률을 제공합니다. 스퍼터링 된 입자는 전하를 유지하고, DC 바이어스는 하전 된 입자를 기판으로 밀어 넣는 가속기 역할을한다. 기판은 챔버 (chamber) 에 배치되고 온도는 균일하고 견고한 필름 증착을 보장하기 위해 유지된다. 챔버 (chamber) 는 고품질 필름 증착 과정을 제공하기 위해 1 토르 (Torr) 로 펌핑되는 진공 챔버입니다. ANELVA SPF-210H는 또한 스퍼터링 과정에서 챔버의 압력을 유지하기 위해 고효율 펌핑 장치를 사용합니다. 그 에 더하여, 주사 된 "가스 '는 잘 혼합 되어 꾸준한 유속 으로 유지 되어, 재생 가능 하고 신뢰 할 수 있는" 필름' 을 만들어 낸다. SPF-210H는 산화물 및 다층 필름 제작에 이상적입니다. "스퍼터링 '기계 는 소형화 되고 사용 하기 쉬운" 스퍼터링 머신' 으로서, 정비 가 거의 필요 없으며, 복잡 한 연마 과정 이 필요 없이 넓은 지역 에서 균일 하고 견고 한 "필름 '을 생산 할 수 있다. CANON/ANELVA SPF-210H는 다양한 금속 스퍼터링, 투명 도체, 세라믹 재료 및 광학 박막 등 많은 응용 분야에 적합합니다.