판매용 중고 CANON / ANELVA SPC-530H #9284126

CANON/ANELVA SPC-530H는 다양한 유형의 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 전자 제어, 고주파 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 사용하여 얇은 재료 필름을 기판에 적용합니다. 공구 제조 (Tool Manufacturing), 재료 연구 (Material Research) 와 같은 산업 환경에서 탁월한 성능을 제공하는 컴팩트하고 견고한 디자인이 특징입니다. CANON SPC-530H에는 티타늄 스퍼터링 목표와 고성능 전자 빔 건이있는 터보 펌핑 진공 챔버가 포함됩니다. 이렇게 하면, 매우 신속 하고 정확 한 재료 의 스퍼터링 (sputtering) 을 하게 되며, 그 결과 층 두께 와 균일 함 이 정밀 해집니다. 이 장치는 챔버 압력 (chamber pressure), 기판 온도 (substrate temperation), 회전 속도 (rotational speeds) 와 같은 매개변수가 다른 다양한 응용 프로그램에서 작동 할 수 있습니다. ANELVA SPC-530H에는 원하는 레이어의 균일 한 증착을 보장하는 특수 메커니즘이 있습니다. 여기에는 필름 두께, 균일성 (uniformity), 동질성 (homogeneity) 의 정확한 제어를 위해 매개변수를 조정하는 다양한 도구가 포함된 사양 제어 컨트롤러가 포함됩니다. 이 기계에는 실리콘 웨이퍼, 다이 스태킹, 유리 디스크 등 다양한 기판이 장착되어 있습니다. SPC-530H는 또한 안정적인 기판 로딩을 위해 고정밀 단계를 제공합니다. 스테이지에는 수동 기판 이동 및 포지셔닝을위한 자동 전기 리프트 (electro-lift) 기능이 있으며, 비스듬한 각도 코팅이 가능한 전동 틸트 (tilt) 기능이 있습니다. CANON/ANELVA SPC-530H는 또한 오염 및 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 비용 절감 및 프로세스 최적화를 위해 고효율 가스 활용을 제공합니다. 또한이 도구에는 스퍼터링 조건 모니터링 및 필름 증착 후 (post-deposition) 분석을위한 고정밀 측정 장치가 포함되어 있습니다. 이는 에너지 소비를 최소화하면서 안정적인 프로세스 제어를 보장합니다. 캐논 SPC-530H (CANON SPC-530H) 는 박막 증착을 위한 컴팩트하고 종합적인 자산으로, 효율성 향상, 비용 절감, 신뢰성 향상을 위한 광범위한 기능을 제공합니다. 아넬바 (ANELVA) SPC-530H는 첨단 기술과 뛰어난 성능을 바탕으로 업계의 품질 제조에 이상적인 선택입니다.