판매용 중고 CANON / ANELVA SPC-530H #9132153

CANON / ANELVA SPC-530H
ID: 9132153
빈티지: 1999
Sputtering system 1999 vintage.
CANON/ANELVA SPC-530H는 다양한 응용프로그램에 씬 필름을 배치하도록 특별히 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 컴팩트하고 견고하며, 쉽게 설치하고 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 최적 프로세스 성능, 신뢰성 및 효율성을 위해 첨단 기술을 사용하여 구축되었습니다. CANON SPC-530H는 2 개의 마그네트론 소스로 구동되며, 둘 다 박막 증착을위한 가스 같은 스퍼터링 공정을 자력적으로 흥분시키고 배치하는 데 사용됩니다. 장치 내부에는 원호 반응 모니터가 내장 된 고진공 챔버가 있습니다. 이를 통해 증착 프로세스를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 이 기계는 높은 수준의 진공을 유지하면서 고압 처리 (high-pressure processing) 와 저온 (low temper) 을 관리 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 산화물, 질화물, 금속 등 여러 가지 필름 을 효율적 이고 더 빨리 증착 할 수 있다. 이 툴에는 다양한 기능을 통해 사용자에게 탁월한 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. 이러한 기능 중 하나에는 전력 변동과 기판 손실을 보완하는 데 도움이되는 폐쇄 루프 (closed-loop) 전원 제어가 포함됩니다. 이것은 박막 증착의 보다 일관된 균일성을 보장합니다. 또한, 에셋에는 스퍼터링 프로세스 동안 안정적인 자동 압력 제어를 제공하는 자동 벤트 (auto-vent) 밸브가 장착되어 있습니다. 따라서 다운타임을 줄이고 효율성을 향상시킬 수 있습니다. ANELVA SPC-530H 스퍼터링 모델에도 보호 기술이 포함되어 있습니다. 이 기술은 프로세스 오류, 전력 중단, 가스 오염으로 인해 장비가 손상되지 않도록 합니다. 내장 수냉식 장치는 열 유발 손상을 줄이고 효율성과 신뢰성을 더욱 높입니다. 이 장비는 정확한 프로세스 제어를 가능하게 하며, 이를 통해 사용자는 운영 능력을 극대화할 수 있습니다. 고급 (advanced) 기능을 사용하면 다양한 필름 증착 매개변수를 프로그래밍하여 고품질 박막 증착을 얻을 수 있습니다. 이 시스템은 또한 매우 조절 가능하며, 특정 요구 사항에 맞게 필름을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 요약하자면, SPC-530H는 박막 증착을 위해 특별히 설계된 고성능, 신뢰할 수있는 스퍼터링 장치입니다. 첨단 기술을 활용함으로써, 이 기계는 탁월한 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. 따라서 사용자는 운영 용량을 극대화하면서 최적의 박막 증착 결과를 얻을 수 있습니다.
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