판매용 중고 CANON / ANELVA SPC-530H #9111244

CANON/ANELVA SPC-530H는 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터 장비입니다. 500W, 무선 주파수 (RF) 스퍼터 전원 공급 장치 및 저압 DC (direct-current) 광선 방전 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. CANON SPC-530H 시스템은 스퍼터 속도 (Sputter Rate), 광선 방전 조건 (Glow Discharge Condition) 및 주기 간 유지 시간에 대한 설정 지점을 모니터링하고 제어하는 실시간 마이크로프로세서 기반 장치를 통해 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 스퍼터링 전원 공급 장치는 넓은 주파수 범위 (50 ~ 4,000 kHz) 에서 작동하며 직경이 최대 8 "인 기판을 처리 할 수 있습니다. ANELVA SPC-530H 기계는 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 로부터의 빠른 스퍼터 증착 및 빠른 재료 이동을 위해 설계되었습니다. SPC-530H 도구는 이온 빔 에칭, 반응성 이온 에칭, 계면 활성제 증착, 증발 및 마그네트론 스퍼터링을 포함하여 단일 자산에서 광범위한 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. 유연성과 확장성을 통해 다양한 기판 및 스퍼터링 매개변수를 사용할 수 있습니다. CANON/ANELVA SPC-530H 모델에는 조정 가능한 챔버 압력 제어 장비 (예: 적출률 및 필름 두께) 가 포함되어 있습니다. 또한 CANON SPC-530H 시스템은 자동 청소 및 자동 방랑기 기능을 지원하므로 증착 시간이 길고 증착률이 빠릅니다. ANELVA SPC-530H 장치는 산화물 필름에서 고온 반도체 유전자에 이르기까지 다양한 필름 유형을 생성 할 수 있습니다. 광범위한 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 를 통해 증착률을 세밀하게 튜닝하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, SPC-530H 기계는 독특한 고온 기판 가열 옵션을 특징으로하여, 우수한 특성을 가진 필름을 증착 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 인라인 (in-line) 광학 검사를 지원하여 제작 된 필름의 품질을 제어할 수 있습니다. CANON/ANELVA SPC-530H 자산은 장기 사용 및 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 닫힌 루프 처리는 정밀 측정과 엄격한 프로세스 제어를 보장합니다. 챔버 유지 보수 (Chamber Maintenance) 및 청소 (Cleaning) 절차가 자동화되어 수작업 조정이 필요 없고 프로세스 비용이 절감됩니다. 또한, 사용자에게 친숙한 소프트웨어와 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 모델의 기능을 쉽고 효율적으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 CANON SPC-530H는 박막의 고성능 증착을 위해 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 자동 청소 (auto-clean) 및 자동 방랑기 (auto-drifter) 와 같은 고급 기능이 포함 된 광범위한 스퍼터링 프로세스를 통해 재생성이 뛰어난 박막 (thin film) 을 빠르고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 독특한 고온 기판 가열 옵션을 특징으로하며, 이는 우수한 특성을 가진 고온 필름의 강착을 촉진합니다. 이 장치는 고속 증착을 지원하여 정확하고 반복 가능한 결과를 가진 박막 (thin film) 의 생산에 적합합니다. 또한, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 시스템의 기능을 빠르고 쉽게 제어할 수 있습니다.