판매용 중고 CANON / ANELVA SPC-530H #9053827

CANON/ANELVA SPC-530H 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 금속과 같은 얇은 재료 필름을 기판에 높은 속도로 입금하도록 설계된 증착 시스템입니다. 이 장치는 다양한 응용프로그램을 위한 안정적이고 재현 가능한 박막 (Thin Film) 의 제작에 이상적입니다. CANON SPC-530H의 유연성과 다양성은 다양한 연구/산업 애플리케이션에 적합합니다. 스퍼터링 머신은 가스 소스, 전원 공급 장치 및 진공실로 구성됩니다. 가스원은 스퍼터링 공정에 필요한 가스 (아르곤, 산소, 질소 및 기타 화합물 포함) 를 공급합니다. 전원 공급 장치는 스퍼터링 프로세스의 조정 가능한 전압 및 전류를 제공합니다. 또한, 전원 공급 장치에는 여러 가지 모드 및 안전 기능이 장착되어 있습니다. 진공실은 금속 벽 온도, 산소 대기, 그리고 피막을 산화 (oxidation) 및 기타 원치 않는 반응으로부터 보호하기위한 압력 수준 (pressure level) 을 유지하도록 설계되었습니다. ANELVA SPC-530H는 구리, 알루미늄, 티타늄, 스테인리스 스틸 및 크롬과 같은 재료를 최대 10 µm/min의 증착율로 기판에 스퍼터 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 대상 전류 (target current) 를 제어하기위한 고급 기술이 포함되어 있으므로 스퍼터링 작업의 프로세스 최적화에 적합합니다. 기존 설비에 쉽게 통합할 수 있으며, 다양한 기판과 호환됩니다. SPC-530H에는 이중 가스 입력 밸브가있는 지능형 액체 가스 흐름 제어 자산이 포함되어 있습니다. 이 모델은 산화를 예방하고 스퍼터링 동안 목표 압력을 제어하는 데 도움이됩니다. 또한 장비에는 0.1 Pa나 그 이하의 챔버 압력을 유지할 수있는 신뢰할 수있는 진공 시스템이 장착되어 있습니다. CANON/ANELVA SPC-530H는 LCD 디스플레이, 6 가지 유형의 전압 디스플레이 및 USB 또는 GPIB로 인해 사용자에게 친숙한 작동을 제공합니다. 이 장치에는 키 프로세스 상태를 실시간으로 모니터링하는 고급 진단 (Advanced Diagnostic) 기능도 있습니다. 또한 CANON SPC-530H는 지속적인 청결성을 제공하는 고급 여과기로 설계되었습니다. 이러한 필터는 공구에서 솔리드 입자를 제거하고 고품질 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 보장하도록 특별히 설계되었습니다. 이 자산에는 다양한 안전 메커니즘 (Safety Mechanism) 이 포함되어 있어 운영자와 제품을 모두 보호합니다. ANELVA SPC-530H는 다양한 응용 프로그램에 적합한 고급, 신뢰성, 다용도 박막 증착 모델입니다. 이 기능을 사용하면 일관된 고품질 박막 (Thin Film) 을 높은 속도로 생산할 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적 인 운영, 안전 메커니즘 및 고급 여과 장비 (Advanced Filtration Equipment) 는 연구 및 산업 응용 프로그램 모두에 이상적인 시스템입니다.