판매용 중고 CANON / ANELVA NC-7900 #9236120

CANON/ANELVA NC-7900은 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 균일성, 재현 가능한 성능, 훌륭한 기능 해상도의 영화를 제작할 수 있습니다. 이 시스템은 높은 진공 챔버, 스퍼터 소스 및 프로세스 컨트롤러로 구성됩니다. 하이 진공 챔버 (High Vacuum Chamber): 이 장치에는 탈착식 뚜껑이있는 스테인리스 스틸 원통형 바디가있는 높은 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 챔버는 기본 압력을 1 x 10-7torr까지 도달 할 수 있습니다. 25cm 직경의 표적 보유 디스크가 장착되어 있으며, 내부 직경은 115mm, 높이는 400mm입니다. 챔버에는 더블 와이어 리드 (double wire lead) 가 있어 양쪽에서 타겟 로딩에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 스퍼터 소스: CANON NC-7900 스퍼터링 머신에는 두 개의 스퍼터 소스가 장착되어 있습니다. 소스 어셈블리는 마그네트론 및 고 전력 임펄스 마그네트론 (HiPIMS) 스퍼터링에 효율적인 증착 과정을 제공합니다. DC 및/또는 RF 전원 공급 장치에 의해 구동됩니다. 스퍼터 소스에는 스퍼터 (sputter) 타겟의 위치를 정확하게 제어하기 위해 고정밀 (high-precision) 목표 포지셔닝 시스템도 제공됩니다. 프로세스 컨트롤러: 프로세스 컨트롤러는 ANELVA NC-7900의 중앙 구성 요소입니다. 컴퓨터 인터페이스, 데이터 획득 도구, 사전 프로그래밍된 프로세스 제어 루틴으로 구성됩니다. 프로세스 컨트롤러를 사용하여 사용자는 실시간으로 증착 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 사용자는 증설 중에 데이터를 분석하고 저장할 수 있습니다. NC-7900 스퍼터링 자산은 박막 증착에 사용되는 매우 정확한 도구입니다. 뛰어난 균일성, 고도로 재현 가능한 성능 및 훌륭한 기능 해상도를 갖추고 있습니다. 이 모델은 높은 진공 챔버, 2 개의 스퍼터 소스 및 프로세스 컨트롤러로 구성됩니다. 이 장비는 정확한 제어 액세스 (control access) 를 갖춘 박막 (thin film) 을 제작할 수 있으며, 연구자와 제작 엔지니어 모두에게 훌륭한 선택입니다.