판매용 중고 CANON / ANELVA L-430S-FHL #9107299

CANON/ANELVA L-430S-FHL은 금속 또는 기타 재료의 박막 층으로 재료 표면을 코팅하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 반도체, 자동차, 항공 우주, 의료 기기, 광학 및 재생 에너지와 같은 산업에서 널리 사용됩니다. 이 기계는 소형 전면 지원 장치, 독립 후면 플랫폼, 기판 (가공소재) 운송을위한 최상위 플랫폼 및 2 개의 이온 소스 암으로 구성됩니다. 4 축 자동 스퍼터 소스 정렬 시스템, 3 개의 독립적 인 로터리 대상 홀더, 초고 진공 (UHV) 작동을위한 현장 펌핑 장치 및 자동 샘플 셔터 메커니즘이 장착되어 있습니다. 스퍼터 소스는 높은 전력 및 코팅 균일성을 제공하며, 최대 4 개의 다른 재료를 코팅 할 수 있습니다. 이 기계는 효율성이 높으며 빠른 스캐닝 레이저 간섭계 (fast-scanning laser interferometer) 를 장착하여 정확한 스퍼터 대상 추적 및 정렬을 가능하게합니다. 빠른 스캔 기능은 스퍼터링 된 필름의 뛰어난 균일성을 보장합니다. CANON L-430S-FHL은 또한 높은 지속적 증착률을 제공하며 3.0x10-4 torr 미만의 압력으로 작동하도록 평가되었습니다. 공구는 공정 결과를 최적화하기 위해 강착 속도, 스퍼터 각도, 이온 농도, 전극 전류를 정확하게 제어 할 수 있습니다. ANELVA L-430S-FHL은 또한 운영 중 사용자의 안전을 보장하기 위해 다양한 기능으로 설계되었습니다. 이 기계에는 2 단계 호 전원 제어, 자동 도어 닫기, 원격 비상 단추, 접지 케이블, 소화기 및 기타 안전 기능이 있습니다. 이 시스템은 사용하기 쉬운 설계를 갖추고 있으며, 여러 데이터 로깅 및 모니터링 시스템을 갖추고 있어 프로세스 추적 (process tracking) 과 프로세스 제어를 최적화합니다. 이 기계는 또한 자동화된 생산 프로세스를 용이하게하기 위해 제조 시스템에 연결되도록 설계되었습니다. 전반적으로, L-430S-FHL은 사용자에게 다양한 기판 및 재료에 대한 최적의 필름 증착 성능을 제공하도록 설계된 고급 스퍼터 에셋 (sputter asset) 입니다. 안전성과 유용성과 함께 정확하고 정확하도록 설계되었습니다. 이 장치는 연구 개발, 광학 필름의 생산 수준 스퍼터링, 프로세스 최적화 등의 응용 분야에 이상적입니다.