판매용 중고 CANON / ANELVA L-410S-FHL #9156826

CANON/ANELVA L-410S-FHL은 주로 PVD (physical vapor deposition) 응용 프로그램에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 저압 Langmuir-Hinshelwood 에치 공정을 사용하는 진공 챔버로 구성됩니다. 이것은 유리, 실리콘, 플라스틱, 금속 등의 기판에 얇고 균일 한 재료 층을 만들기 위해 수행됩니다. 이 장치는 전자 총이있는 1 차 챔버 (1 차 챔버) 와 스퍼터링 총이있는 2 차 챔버 (2 차 챔버) 의 두 단계로 작동합니다. 1 차 챔버에는 전자 총 (electron gun) 이 장착되어 있으며 진공 펌프에 연결된 아크릴 벨 항아리로 구성됩니다. 전자 총 은 "전자 빔 '을 만들어 내는데, 그것 은 얇은 층 의 물질 을 증착 시키는 데 사용 된다. 이 빔은 두 금속 전극 사이에 전압을 가하여 생성됩니다. 전압은 일반적으로 스테퍼 모터에 의해 제어됩니다. 그 전자 는 가속 된 다음, 표적 물질 의 분자 와 충돌 하여 분해 되어 "기판 '에" 추진' 된다. 이렇게 하면 전체 서피스에서 동일한 두께의 등각 코팅 레이어 (conformal coating layer) 가 생성됩니다. 2 차 챔버에는 스퍼터링 건이 포함되어 있으며 아크릴 벨 항아리로 구성됩니다. 이 총은 두 번째 얇은 재료 층을 기판에 뿌리는 데 사용됩니다. 이 과정은 전자 총과 유사하지만, 스퍼터링 총은 3 개의 전극으로 구성됩니다. 음전하 대상 재료는 양극 (양전하 전극) 에 배치됩니다. "양극 '과 음극 사이 에" 이온' 을 가하면, 표적 물질 로부터 "이온 '을 배출 한 다음 기판 과 충돌 시켜 그 위 에 얇은 물질 층 을 증착 시킨다. 이 과정은 증착률이 매우 높은 균일 한 적용 범위를 초래합니다. CANON L-410S-FHL 스퍼터링 머신은 전자, 자동차, 조명과 같은 다양한 산업에 균일 한 커버리지 및 경미한 증착 조건으로 사용됩니다. 이 도구는 광범위한 스퍼터 증착 및 PVD 프로세스에 대한 정확성과 반복 성을 보장합니다.