판매용 중고 CANON / ANELVA L-400EK-L #9372506

CANON/ANELVA L-400EK-L은 고정밀 스퍼터링 증착 기술과 정교한 진공실을 하나의 효율적인 시스템으로 결합한 대규모 생산을 위해 설계된 자동 스퍼터링 장비입니다. 고급 디자인은 챔버 누출률 (low chamber leakage rate), 극도의 신뢰성 (extreme resistility) 및 유지 관리 비용 (low maintenance cost) 으로 매우 높은 증착율로 증착 된 박막의 뛰어난 균일성을 제공합니다. CANON L-400EK-L 스퍼터링 장치는 스퍼터링 챔버, 스퍼터링 소스, 진공 기계 및 공정 제어 도구의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 초고진공에 도달 할 수 있으므로 초박막 (ultra-thin film) 을 효율적으로 증착 할 수 있습니다. 공정 챔버에는 포어 펌프, 황삭 펌프, 이온 소스 및 터보 펌프가 장착되어 있습니다. 대용량 포어 펌프 (Fore Pump) 는 진공을 필요한 작업 수준으로 빠르게 줄이는 반면, 황삭 펌프는 프로세스 전반에 걸쳐 일정한 압력을 유지합니다. 스퍼터링 소스는 최대 400kW의 전력 조절 가능한 대기 유형 DC 소스입니다. 최대 40 개의 스퍼터 건 (sputter gun) 이 장착되어 다양한 기판에 박막을 동시에 퇴적시킬 수 있습니다. 스퍼터링 공정은 재생성이 높으며, 표면에서 우수한 균질성을 제공합니다. ANELVA L-400EK-L에는 스퍼터링 프로세스의 정확한 모니터링 및 제어를 위한 자동 제어 자산이 있습니다. 정교한 제어 모델을 사용하면 원하는 값에 따라 매개변수 (parameters) 와 조건을 정확하게 제어할 수 있습니다. 장비는 또한 적응력이 높으며 스퍼터링 (sputtering) 조건의 갑작스런 변화에 적응하여 균일 한 (uniform) 증착을 달성할 수 있습니다. 전반적으로 L-400EK-L 시스템은 대규모 생산에 효율적이고 안정적인 스퍼터링 장치입니다. 첨단 디자인과 정교한 컨트롤 머신 (Control Machine) 은 뛰어난 균일성과 증착률로 고정밀 금속 및 반도체 박막 증착에 이상적입니다. 탁월한 성능 대비 비용 (cost-to-performance) 을 통해 오늘날 시장에서 가장 많이 사용되는 스퍼터링 시스템 중 하나입니다.