판매용 중고 CANON / ANELVA L-350S-C #9053825

CANON/ANELVA L-350S-C는 제조 공정에 사용하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 세라믹, 금속, 폴리머 등 다양한 재료를 생산할 수있는 단일 소스, 이중 총 기계입니다. 이 기계는 자동 기판 로딩 시스템, 매개변수 조정을위한 디지털 디스플레이, 강력한 진공 장치 (vacuum unit) 를 갖추고 있습니다. 디지털 디스플레이 (Digital Display) 는 사용자에게 친숙한 프로그래밍 및 작동을 가능하게 하며, 스퍼터링 프로세스를 설정하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 바이어스 파워, 스퍼터링 파워, 압력, 온도 등의 매개변수는 디지털 디스플레이에서 쉽고 정확하게 조정할 수 있습니다. 기계 에는 자동 "가스 '흐름 조절 장치 가 장착 되어 있어서" 스퍼터링' 과정 전체 에 걸쳐 원하는 압력 과 "가스 '흐름 속도 가 유지 된다. CANON L-350S-C의 자동 로딩 기계는 안정적이고 일관된 기판 처리를 보장합니다. 로드 메커니즘에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 로 기판을 이동시키는 트랙 도구가 있습니다. 이 기계 에는 또한 특수 "플라즈마 '모양 의 자산 이 있는데, 이것 은 원하는 물질 을 분출 하는 데 필요 한" 플라즈마' 의 정확 한 양 이 적용 되도록 한다. 이 기계는 또한 스퍼터링 (sputtering) 공정 전반에 걸쳐 안정적인 압력과 가스 유량을 유지하기 위해 강력한 진공 모델을 갖추고 있습니다. 진공 장비는 1 개의 황삭 펌프 (roughing pump) 와 2 개의 고진공 펌프 (high-vacuum pump) 로 구성되어 저압 작동과 낮은 수준의 오염을 허용합니다. 진공계는 1 mbar ~ 10-6 mbar의 압력 범위에서 작동하며 최대 1,000 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. ANELVA L-350S-C는 시장에서 가장 신뢰할 수있는 스퍼터링 시스템 중 하나입니다. 고품질 설계, 견고한 진공 장치, 자동화된 기판 적재기로 반도체 제조 공정에 적합합니다. 이 기계는 또한 커스터마이징이 가능하므로 스퍼터링 프로세스를 세밀하게 조정하고 고품질 (high-quality) 재료를 생산할 수 있습니다.