판매용 중고 CANON / ANELVA L-332S-FHL #9048857

CANON/ANELVA L-332S-FHL은 박막의 정확하고 효율적인 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 특히 전자제품· 광전자제품· 자동차산업 분야에 적합하다. 뛰어난 스퍼터링 레이트 안정성 (Sputtering Rate Stability) 과 사용이 간편한 운영장치 (Operation Unit) 등 다양한 기능이 결합돼 있다. 스퍼터링 머신은 증발 유형 이산화탄소 레이저 및 표적에 물질을 방출하고 퇴적시키는 RF 유도 결합 플라즈마 소스를 특징으로한다. 또한 스퍼터링 압력, 증착률 (deposition rate) 및 기타 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 고급 제어 시스템이 있습니다. 이 도구의 최대 스퍼터링 속도는 200nm/min이고 스퍼터 각도는 60 ° 입니다. 에셋은 또한 다양한 설정으로 anlarge, automated control circuitry (자동 제어 회로) 를 제공하여 복잡한 증착 작업을 쉽게 할 수 있습니다. 이 모델의 주요 장점 중 하나는 높은 범위의 증착 (high-coverage deposition) 작업을 실행하여 처리 시간을 크게 줄이고 처리량을 늘리는 기능입니다. 이 장비에는 더 나은 결과를 얻기 위해 스퍼터 주파수 (최대 100Hz) 를 지원하는 가변 전원 공급 장치가 있습니다. 또한, 이 시스템은 구성 요소의 잠재적 손상을 방지하는 데 도움이 되는 과열 보호 (over-temperature protection) 및 비상 종료 회로 (emergency shut-down circuit) 와 같은 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 장치는 또한 그리퍼가있는 로봇 암 (robotic arm) 을 특징으로하여 기판과 표적을 쉽게 적재 할 수 있습니다. CANON L-332S-FHL은 박막의 정확한 증착을 위해 설계된 고효율 스퍼터링 머신입니다. 탁월한 스퍼터링 속도 (Sputtering Rate) 와 사용 편의성을 통해 전자, 광전자 및 자동차 산업의 많은 응용 분야에서 매력적인 선택이되었습니다. 이 도구의 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 안전 측정 (Safety Measure) 은 매번 최고 품질의 박막을 만드는 데 도움이됩니다.