판매용 중고 CANON / ANELVA L-322S-FHT #293639204
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CANON/ANELVA L-322S-FHT 스퍼터링 장비는 기판에서 박막 층을 증착하는 데 사용되는 고도의 업계 최고의 증착 장비입니다. 이 변조 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 세밀하게 제어하고 두께가 균일한 얇고, 등각, 고품질 증착층을 생성하는 데 적합합니다. 이 모델은 쿼드 풀, Eu-gun, 플레이트 디스펜서 및 로드록 챔버를 포함한 최첨단 광학 장비를 제공합니다. 알루미늄 (Aluminum), 티타늄 (Titanium), 구리 (Copper) 와 같은 다양한 대상 자료를 수용하고 생산성과 균일성에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기기는 또한 고급 난방 및 냉각 기능을 제공하여 온도 조절 (Tight Temperature Control) 및 반복 가능한 결과를 허용합니다. 이 시스템은 고급 고성능 증착 기능 덕분에 반도체 장치, 광전자 부품 (optoelectronic component) 등 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 기기에는 압력, 전력, 스퍼터 시간이 빠르고 정밀하게 조정 할 수있는 자동 메커니즘이 있습니다. 이는 광범위한 재료에 대한 최소한의 오염 및 꾸준한 상태 성능을 보장합니다. CANON L-322S-FHT는 매우 높은 처리량을 제공하며, 한 사이클에서 최대 6.7äm 두께의 레이어를 배치 할 수 있습니다. 공구에는 넓은 균일 영역 (unifority area) 이 있으며, 넓은 영역 기판에 균일 한 증착이 가능합니다. 이 장치는 신뢰성이 높으며, 효율성이 높은 생산 (production output) 에 대한 최소 주기 시간이 있습니다. 이 기기는 포괄적인 유지 보수 (maintenance) 프로그램을 통해 지원되며, 원격 지원 및 문제 해결 (trouble-shooting) 기능을 제공하도록 설계된 일련의 진단 툴을 제공합니다. 이 기계는 또한 다양한 프로세스 제어 소프트웨어 프로그램 (process control software program) 을 지원하므로 사용자가 스퍼터링 작업을 프로그래밍하고 제품 품질을 모니터링할 수 있습니다. 요약하자면, ANELVA L-322S-FHT는 박막 증착을 최적화하기 위해 설계된 고성능, 고성능 스퍼터링 도구입니다. 고급 제어 자산, 빠른 주기 시간 (fast cycle time) 및 넓은 균일성 영역 (unifority area) 을 통해 다양한 애플리케이션에서 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 박막의 안정적이고 비용 효율적인 증착을 위해 L-322S-FHT 는 강력하고 다양한 도구입니다.
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