판매용 중고 CANON / ANELVA L-210H-WS #9055191

CANON/ANELVA L-210H-WS 스퍼터링 장비는 박막 재료를 기판에 증착하기위한 다재다능한 증착 도구입니다. 스퍼터링 시스템은 2 개의 고출력 마그네트론 소스와 1 개의 작업 단계로 구성됩니다. 마그네트론 소스는 고전압 전원 공급 장치에 의해 가속되는 전자를 생성합니다. 그 다음 에 가속 된 전자 들 은 표적 물질 을 폭격 하여 "이온 '화 된 입자 를 통하여 물질 을" 기판' 으로 전달 하여 얇은 "필름 '을 입힌 기판 을 만든다. CANON L-210H-WS 스퍼터링 장치에는 2 개의 RF 마그네트론 스퍼터링 소스가 장착되어 있으며 10-4 Pa 최대 압력이있는 대피 챔버가 있습니다. 기계의 온도 범위는 25 ° C ~ 350 ° C이며 조절 가능한 압력, 전력 및 전압 설정을 제공합니다. 여기에는 오염 물질로부터 자산을 보호하는 데 도움이 되는 먼지 여과 도구 (dust filtration tool) 가 포함되어 있으며, 안전하고 효율적인 작동을 보장하는 통합 냉각 모델도 포함되어 있습니다. ANELVA L-210H-WS 스퍼터링 장비는 박막 실리콘 산화물/실리콘 질화물/실리콘 탄화물 (SiOx/SiNx/SiCx) 필름, 구리-옥사이드 (CuO) 의 증착 (CuO), 코퍼-O, 더 많은 것을 참조하십시오. 이 스퍼터링 시스템은 또한 알루미늄 (Al), 구리 (Cu) 및 니켈 (Ni) 과 같은 금속과 도체를 퇴적시켜 다양한 층을 형성 할 수 있습니다. L-210H-WS 스퍼터링 장치는 직관적이고, 사용하기 쉽고, 신뢰할 수 있도록 설계된 첨단 고성능 머신입니다. 이 도구는 원격 조이스틱 작동, 고성능 챔버 대피 자산, 프로그래밍 가능한 레시피 프로그래밍, 오류 경보 기능, 유지 보수 용이과 같은 최신 기술을 통합합니다. 또한, 이 모델은 재현 가능한 결과를 위한 정확한 프로세스 제어를 제공하여 안정적이고 일관된 박막 증착을 보장합니다. 전반적으로 CANON/ANELVA L-210H-WS 스퍼터링 장비는 기판에 필름을 입금하기위한 고급적이고 강력한 증착 도구이며, 뛰어난 박막 품질, 고해상도, 정확한 프로세스 제어를 지원합니다. 고성능 기능으로 인해 연구 개발, 도량형, 빠른 프로토 타입, 나노 기술 애플리케이션에 적합합니다. 직관적인 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 고급 기능 (advanced feature) 을 통해 모든 유형의 박막 증착 어플리케이션에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.