판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #9248126

ID: 9248126
빈티지: 1999
Sputtering system Missing parts 1999 vintage.
CANON/ANELVA ILC 1060 스퍼터링 장비는 사전 및 사후 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 스퍼터 코팅 장치입니다. 그것 은 비활성 "가스 '를 이용 하여 물질 입자 를 침식 시키기 위해" 이온' 을 가진 표적 물질 을 폭격 하고, 그 다음 기판 에 증착 시킨다. 이 시스템에는 얇고 균질 한 코팅을 생성하기 위해 함께 작동하는 전극과 대상 챔버 (target chamber) 가 포함됩니다. 증착 공정의 경우 CANON ILC 1060은 비활성 가스 이온 소스를 사용합니다. 이것은 아르곤 (argon) 또는 아르곤-산소 조합 (argon-oxygen combination) 과 같은 비활성 가스로 구성되며, 진공 챔버에 도입되어 높은 전압에 의해 가속되어 이온을 생성합니다. 이 과정을 통해 증착율 (deposition rate) 과 두께 (thickness) 를 정확하게 제어하고 전체 샘플 서피스에 대한 균일 한 분포를 허용합니다. ANELVA ILC-1060은 얇은 재료 필름을 정확하고 효율적으로 증착하도록 설계되었습니다. 조임 레이어 크기 제어 장치 (Tight Layer size Control Unit) 는 필요한 레이어 두께에 따라 배치 속도를 자동으로 조정하는 피드백 주기 (Feedback Cycle) 를 기반으로 합니다. 벨로우 (bellows) 메커니즘으로 구성된 타이트한 레이어 크기 제어 머신은 매번 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. ILC-1060 은 사용하기 쉬운 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 증착율, 목표 전압, 증착 압력, 증착 시간 (deposition time) 을 수동으로 제어하는 노브 (knobs) 및 버튼이있는 중앙 제어 도구가 포함되어 있습니다. 또한 온보드 (on-board) 컴퓨터가 통합되어 있어 다른 매개변수를 제어하고 이전 작업의 결과를 저장할 수 있습니다. 또한 CANON/ANELVA ILC-1060은 일련의 안전 장치로 구성됩니다. 비정상적인 작동을 알리는 음향 신호 경보 (acoustic signal alarm) 와 즉각적인 종료를위한 비상 정지 (emergency stop) 버튼이 포함됩니다. 또한 화재 및 폭발을 예방하는 데 도움이되는 가스 누출 감지 자산 (gas leak detection asset) 도 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 ILC 1060 은 정확하고 효율적인 박막 증착이 필요한 다양한 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다. 연구 개발, 반도체, 평면 패널 디스플레이, 디스크 드라이브, 태양전지 제조 등의 산업에서도 사용할 수 있습니다. 강력한 기능과 안정적인 성능을 갖춘 CANON ILC-1060 은 매번 일관되고 재현 가능한 박막 (thin film) 예금을 달성하기 위한 완벽한 선택입니다.
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