판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #9142589

CANON/ANELVA ILC 1060은 다양한 물체와 표면에 얇은 보호 필름 또는 코팅을 침착시키는 데 사용되는 고급 RF (Radio Frequency) 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 다양 한 금속, 유전체, 초전도 "필름 '을 처리 할 수 있는 다목적 시스템 이다. CANON ILC 1060은 스퍼터링 전력이 최대 8kW 인 직류 (DC) 또는 RF 스퍼터링 장치입니다. 전원 공급 장치의 최대 전원은 12kW입니다. 스퍼터 건 컨트롤은 60 채널 DC/RF 연동 제어 장치 (interlock control unit) 에 의해 처리되며, 전력 및 스퍼터 레이어의 균일 한 분배를 제공 할 수 있습니다. 이 기계는 통합 6 표적 초고속 진공 하중 잠금 도구를 갖춘 공압 식으로 작동하는 4 'x2' x1 '진공실을 가지고 있습니다. 로드 락 (load-lock) 자산을 사용하면 최대 4 'x2' x1 '의 큰 물체를 진공을 깨지 않고 빠르게 챔버에 로드할 수 있습니다. 이중 도어 항목을 사용하면 큰 객체를 제거할 수 있습니다. ANELVA ILC-1060에는 120Hz 주파수 컨트롤러 (frequency controller) 가 장착되어 다양한 물체에 금속, 유전체 또는 초전도 필름을 효율적으로 증착 할 수 있습니다. ANELVA ILC 1060의 최대 작동 온도는 1000C입니다. ILC-1060은 매우 다양한 스퍼터링 모델입니다. 특수 기능을 사용하면 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 그것은 반도체, 기판, 광전자 마이크로 장치, 금속, 유전체 및 초전도 재료에 박막 또는 보호 코팅을 증착하는 데 사용될 수 있습니다. 공정 제어 기능이 내장되어 있어 미세한 선과 모양을 위해 정밀 에칭 (etching) 과 스퍼터링 (sputtering) 을 할 수 있습니다. 또한 광학 부품, 플라즈마 디스플레이, 마이크로 리소그래피 (micro-lithography) 와 같은 응용 프로그램을위한 나노 구조 필름 제작에도 적합합니다. CANON ILC-1060도 내구성이 뛰어나고 안정적입니다. 캐논 (CANON) 의 최첨단 진공 기술은 오염의 위험을 최소화하면서 일관되게 깨끗하고 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 또한 견고성 있는 "디자인 '은 먼지 와 진동 과 같은 환경 문제 로부터 장비 를 보호 해 준다. ILC 1060 은 매우 강력하고 다목적인 스퍼터링 시스템으로, 얇은 보호 필름과 코팅 (coating) 을 만들 수 있습니다. 캐논/아넬 바 ILC-1060 (CANON/ANELVA ILC-1060) 은 대규모의 챔버 크기, 고급 프로세스 제어 기능, 안정적인 작동을 통해 다양한 산업, 실험실 및 생산 응용 분야에 적합합니다.