판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #9033668

CANON/ANELVA ILC 1060은 금속, 합금 및 정확한 박막 코팅의 산업 수준의 스퍼터 코팅을 위해 설계된 첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 이온 기반 물질 증착 원 (스퍼터) 과 저압 음극 호 기술을 결합하여 엄청나게 정밀한 재료 층을 제공합니다. 조절 가능한 RF 전력 및 조절 가능한 마그네트론 스퍼터 챔버 (magnetron sputter chamber) 는 증착율, 증착 균일성 및 증착 물질의 두께를 제어 할 수 있습니다. 캐논 ILC 1060 유닛 (CANON ILC 1060 unit) 은 또한 전통적인 스퍼터링 시스템에 필요한 복잡한 가스 처리 없이, 넓은 지역에 일관된 레이어를 제공합니다. 아넬바 ILC-1060 (ANELVA ILC-1060) 의 고전원은 전력 제어를 쉽게 조작할 수있는 10kW 통합 소스를 특징으로하며, 기계가 매우 높은 스퍼터 속도로 작동 할 수 있습니다. 조절 가능한 전원 공급 장치를 사용하면 스퍼터 압력 (sputter pressure) 및 관련 스퍼터 매개변수 (sputter parameters) 를 쉽게 조정하여 필름 두께, 균일성 및 품질을 정확하게 제어할 수 있습니다. 전자 빔 증발 원 (electron beam evaporation source) 은 아르곤 가스 대기에서 다양한 물질이 기화 될 수 있도록 허용한다. 증발 소스 (evaporation source) 는 단일 또는 다중 대상의 도가니 (crucible) 를 유지하도록 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 퇴적물의 증착률, 두께 및 균일성을 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. CANON ILC-1060은 또한 컴퓨터 화 된 목표 포지셔닝 단계에 의해 구동되는 2 개의 독립적 인 멀티 챔버 대상을 갖추고 있습니다. 대상 보유자는 조정 가능하며, 두 가지 크기의 재료를 수용 할 수 있습니다. "스테이지 '는 예금 된" 필름' 의 정밀 한 균일성 과 질 을 보장 하기 위하여 목표 재료 를 정확 하게 배치 하고 균형 있게 유지 하도록 설계 되었다. 통합 챔버 셔터 (chamber shutter) 를 사용하면 ILC 1060 청소 및 기판 로드를 완전히 자동화하여 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 이 툴을 사용하면 원격 네트워크 접속을 통해 작업을 손쉽게 관리할 수 있습니다 (영문). 임베디드 PC 제어 (Embedded PC Control) 및 네트워크 소프트웨어를 통해 사용자는 언제든지 자산의 데이터를 모니터링하고 액세스할 수 있습니다. ILC-1060 스퍼터링 모델은 산업용 실란트, 내구성 코팅, 표면의 보호층, 기타 특수 박막 제품 등의 응용을위한 완벽한 도구입니다. 강력한 소스와 정확한 제어를 통해 ANELVA ILC 1060 (ANELVA ILC 1060) 은 정확한 스퍼터링 된 금속 및 합금 층을 생산하려는 다양한 산업에 적합한 선택입니다.