판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642

CANON/ANELVA ILC-1060 스퍼터링 장비는 박막 재료의 생산 및 증착을위한 다용도 및 효율적인 스퍼터링 시스템입니다. 여러 전원 공급 장치, 방열판, 스퍼터링 타겟을 갖춘 모듈식 설계를 기반으로 합니다. 이 장치는 속도, 성능 측면에서 다른 유사한 시스템을 능가하여 처리 속도와 정밀도를 높입니다 (영문). 스테인리스 스틸 벨 타입 챔버 (Stainless-steel bell-type chamber) 는 이중 증착 및 평면 목표를 포함한 다양한 구성을 수용 할 수 있습니다. CANON ILC-1060은 정밀 증착 제어를 가능하게하는 여러 이중 축 동작 제어 시스템, 박막 증착 균일성을 보장하는 고해상도 광학 평판 제어 시스템 (optical flatness control machine) 을 갖추고 있습니다. 이 도구의 통합 프로세스 제어 시스템 (Integrated Process Control Systems) 은 배치 프로세스를 모니터링하고 최적화되고 일관된 결과를 보장합니다. 기판 난방 에셋은 1500C까지 열을 전달할 수 있으며, 이는 다양한 박막 (thin-film) 재료를 처리하는 데 적합합니다. ANELVA ILC 1060에는 4 채널 가스 분포 모델이 장착되어 있으며, 챔버에 최대 4 개의 가스를 도입하여 다양한 프로세스 및 구성을 허용합니다. 이 장비는 또한 저압 또는 고압 프로세스 제어를 위해 설정 할 수있는 디지털 가압 가스 제어 시스템 (digital pressurized-gas control system) 을 갖추고 있으며, 정확하고 균일 한 증착을 가능하게합니다. CANON/ANELVA ILC 1060에는 전체 장치 진단 기능도 포함되어 있으며, 작업 중에 발생할 수 있는 문제 또는 불일치를 모니터링하고 진단할 수 있습니다. 또한 자동 레시피 관리 (automated recipe management) 기능을 통해 사용자는 매번 각 매개 변수를 수동으로 설정하지 않고도 다양한 프로세스 레시피 간에 빠르고 쉽게 전환할 수 있습니다. ANELVA ILC-1060은 안정적이고, 강력하며, 효율적인 스퍼터링 머신으로, 속도와 정밀도로 박막 재료를 생산하고 배치 할 수 있습니다. 모듈식 디자인, 듀얼 축 동작 제어 (Dual-Axis Motion Control) 및 전체 진단 기능을 통해 다양한 박막 증착 응용 프로그램을위한 탁월한 도구입니다.