판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643641

CANON/ANELVA ILC-1060 (CANON/ANELVA ILC-1060) 은 다양한 기판 재료에 우수한 품질의 박막 증착을 위해 설계된 고출력 스퍼터링 장비입니다. 이것 은 여러 개 의 음극 을 사용 하는 것 을 포함 하여, 처리량 이 높고, 순도 가 높은 재료 의 균일 한 "필름 '의 증착 이 가능 하다. 캐논 ILC-1060 (CANON ILC-1060) 에는 자동 보상 전원 공급 장치가 장착되어 있어, 전례없이 필름의 전원 및 균일성을 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 압력 제어 (Pressure Control) 기능도 갖추고 있으며 스퍼터링 유닛의 정확하고 안정적인 작동이 가능합니다. 또한, ANELVA ILC 1060에는 디지털 진공 제어 머신이 장착되어 있으며, 이는 필름의 균일성과 품질을 더합니다. CANON/ANELVA ILC 1060은 2 개의 강력한 임베디드 마그네트론을 사용하여 높은 수준의 스퍼터링 증착을 제공합니다. 두 마그네트론 모두 짧은 원통형 마그네트론 (magnetron) 목표 설계를 특징으로하며, 이는 균일 하고 등방성 인 자기장을 제공하여 필름 강착 속도를 증가시킵니다. 대상은 넓은 기판과 작은 기판을 모두 수용하도록 조정할 수 있습니다. 또한, PVD (Physical Vapor Deposition) 와 같은 고급 프로세스를 가능하게하기 위해 외부 포지셔닝 가능한 마그네트론 대상을 CANON ILC 1060에 추가 할 수 있습니다. ILC-1060은 금속, 화합물, 절연체, 합금 등 다양한 증착 물질을 처리 할 수 있습니다. 두 개의 대상 단계 (target stage) 를 통해 여러 재료 레이어를 단일 기판에 스퍼터링할 수 있습니다. 고출력 기판 히터 (HPT) 를 사용하면 불편 한 물질의 기존 및 저온 증착이 가능하며, 이산기 및 도자기의 균일 한 증착을 위해 큰 온도 조절이 가능합니다. 전반적으로, ANELVA ILC-1060은 신뢰할 수 있고 다목적 스퍼터링 툴이며, 고품질 및 균일 한 박막 증착에 최적화되었습니다. 다중 음극 설계, 디지털 진공 제어 자산, 마그네트론 구성, 조절 가능한 기판 설정은 박막 증착의 정확성과 정확성을 허용합니다. 이 모델은 박막 증착이 필수적인 세련된 표면 기술에 이상적입니다.