판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643635

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293643635
웨이퍼 크기: 8"
PVD Sputtering system, 8".
CANON/ANELVA ILC-1060은 얇은 필름을 기판에 증착하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 다층" 스퍼터링' 을 할 수 있어서 뛰어난 재생성 을 가진 매우 얇은 "필름 '을 증착 할 수 있다. CANON ILC-1060은 고순도 및 고산화 내성 단일 계층 및 다층 박막을 모두 증착 할 수 있습니다. 스퍼터링 과정은 이온 폭격 및 이온 폭격 반응의 반복주기를 기반으로합니다. 사용되는 주요 방법은 마그네트론 스퍼터링입니다. 이 장치의 고급 진공실은 초고 진공 및 고품질 증착을 가능하게하기 위해 여러 기술을 사용합니다. RF 플라즈마, 통합 된 초고 진공 기술 및 이온 추출 메커니즘이 챔버에 사용되어 초미세 입자 및 균일 한 필름 층을 증착 할 수 있습니다. 아넬바 ILC 1060 (ANELVA ILC 1060) 은 또한 다양한 가스 관리 옵션을 제공하여 원하는 프로세스 및 필름에 따라 다양한 가스 유량을 쉽게 설정하고 제어 할 수 있습니다. 여러 가스 입구는 다른 온도와 부피에서 사용될 수 있습니다. 이들은 모두 컨트롤 패널에 의해 쉽게 조정되고 모니터링됩니다. ANELVA ILC-1060은 빠른 생산 및 초정밀 증착에 이상적입니다. 정교한 제어 소프트웨어를 통해 빠르고 정확하며 재현 가능한 증착이 가능합니다. 또한, 이 장치는 실험실 설정에서도 증착 할 수있는 저소음, 저진동 디자인으로 설계되었습니다. 이 기계의 완전 자동화 (fully automated) 기능은 노동 및 시간 요건을 최소화하여 빠르고 효과적이며 안정적인 스퍼터링 툴이 됩니다. 고급 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어, 실시간 모니터링 및 피드백 (feedback) 시스템을 통해 프로세스 매개변수를 쉽게 유지하고 일관성 있고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. ILC-1060 의 프로그래밍 가능한 자동화된 레시피를 통해 최소한의 노동력으로 반복 가능한 필름 증착을 간편하게 수행할 수 있습니다. 결론적으로, CANON/ANELVA ILC 1060은 정밀도가 높은 단일 및 다중 계층 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 자산입니다. 정교한 제어 소프트웨어 (control software) 와 자동화 (automation) 를 통해 실험실 설정에 적합한 빠르고 안정적인 스퍼터링 모델이 됩니다. 여러 가지 가스 관리 옵션, 고급 프로세스 제어 (process control) 및 실시간 모니터링 (real-time monitor) 기능을 통해 재현성과 정확성을 갖춘 고품질의 박막 (Thin Film) 을 제작하는 데 이상적인 다용도 장비입니다.
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