판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060 #293642935

CANON/ANELVA ILC-1060은 박막 재료 생산에서 기판 증착을 위해 설계된 단일 소스 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 단일 스퍼터 음극 (sputter cathode) 을 사용하여 얇은 재료 층을 기판에 균등하게 배치합니다. CANON ILC-1060의 기본 챔버 크기는 200 x 200 x 100 mm이며 소규모 증착 응용 프로그램에 적합합니다. ANELVA ILC 1060의 스퍼터링 챔버에는 전자 건, 기하학 조작기, 마그네트론 스퍼터 건 및 디지털 제어 보드가 장착되어 있습니다. 전자 총 은 "스퍼터 '할 물질 의 표면 에 음전하 를 공급 하는 데 사용 되며, 기하학 조작 장치 는" 스퍼터' 된 물질 의 모양 과 각도 를 조절 한다. 마그네트론 스퍼터 건 (magnetron sputter gun) 은 기판 표면에 균일 한 증착을 보장하는 반면, 디지털 제어 보드 (digital control board) 는 스퍼터 건 (sputter gun) 의 증착률과 힘을 설정하는 데 사용됩니다. CANON ILC 1060은 정확하고 일관된 증착 특성으로 인해 슈퍼 하드 코팅 및 DLC (diamond-like carbon) 코팅과 같은 박막 증착 응용 분야에 이상적입니다. 정확한 증착 제어는 기질의 도달 하기 어려운 영역에서도 균일 하고 반복 가능한 스퍼터 증착을 허용합니다. ILC-1060의 최대 스퍼터 증착율은 10 nm/min이며, 이는 가장 까다로운 박막 제작 응용 프로그램에도 적합합니다. 이 장치에는 온도 조절 장치 (temperate control machine) 가 장착되어 있어 증착 과정이 진행되는 동안 정확하고 안정적인 온도 조절이 가능합니다. 수냉식 도구 (water cooling tool) 도 포함되어 있는데, 이는 스퍼터링 챔버의 온도를 조절하고 열 팽창으로 인한 오류를 줄이는 데 도움이됩니다. ANELVA ILC-1060은 박막 증착 응용 프로그램에 적합한 안정적인 자산입니다. 사용 하기 쉽고, 모든 구성 요소와 설정을 명확하게 볼 수 있으며, 프로그래밍 가능한 설정은 모든 재료에서 일관되고 정확한 스퍼터 (sputter) 증착을 보장합니다. 게다가, 경제성은 비용 효율적인 스퍼터링 모델을 찾는 기업에게 이상적인 옵션입니다.