판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9354461

CANON/ANELVA ILC 1051은 고급 박막을 기판에 배치하는 데 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 이중 챔버 (dual-chamber), 고진공 (high-vacuum) 구성 스퍼터 시스템으로 등각 및 고해상도 박막 제작에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 금속, 절연 물질, 유전체 및 기타 스퍼터블 물질을 고에너지 플라즈마 소스와 저에너지 플라즈마 소스로 스퍼터링 할 수 있습니다. 캐논 ILC 1051 (CANON ILC 1051) 에는 다양한 스퍼터링 옵션이 있으며, 동시에 스퍼터링 가능한 음극은 최대 6 개이며, 대규모 프로젝트와 소규모 실험실 프로젝트에 적합합니다. 또한 조절 가능한 전력, 주파수, 전류 및 가스 흐름 (gas flow) 옵션을 포함하여 산화물 스퍼터링, 질화물, 탄화물, 다양한 금속 등 다양한 박막 응용 프로그램에 대한 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 스퍼터링 장치는 PDSG (Patent Diamind-Coated Sputtering Gun) 로 구동됩니다. UHV (Ultra-High Vacuum) 스퍼터 머신으로, 최고 품질과 균일성의 시뮬레이션 지원 박막 제작을 위해 설계되었습니다. PDSG (PDSG) 는 회전하는 아크 팔레트 (arc pallet) 와 스퍼터링 소스 (sputtering source) 를 가지고 있으며, 대상 재료의 연소를 피하면서 매우 얇은 필름의 매우 정확한 스퍼터링을 제공 할 수 있습니다. 스퍼터링 툴은 또한 고급 진공 기반 스로틀 에셋 (throttle asset) 을 갖추고 있으며, 일관된 증착 속도를 제공하고 최대 3 마이크로 미터 두께의 물질의 표적 스퍼터링을 용이하게합니다. 또한 불활성 가스 전달 모델 (inert gas delivery model) 이 장착되어 민감한 박막을위한 낮은 산소 환경을 제공합니다. ANELVA ILC-1051 스퍼터링 (Sputtering) 장비는 고급 박막 (Thin Film) 을 생산하기 위한 이상적인 도구이며, 가능한 최고 품질의 결과를 보장하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. "뉴우요오크 '는 여러 가지 반도체" 애플리케이션' 을 위한 박막 을 만들어 내는 데 적합 하며, 그 외 의 산업, 즉 자동차 및 의료 "스퍼터 '용 도구 가 된다.