판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9272190

CANON/ANELVA ILC 1051은 초박막을 기판에 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (sputtering) 에서, 표적은 진공 챔버 안에 배치되고 이온으로 폭격 당하며, 이는 표면의 원자를 방출하고 기판에 퇴적시킨다. CANON ILC 1051은 MICP (Magnetron Inductively Coupled Plasma) 소스를 사용하여 챔버에 아르곤 또는 희귀 가스 헬륨 플라스마를 생성합니다. "플라즈마 '원 에 의해 생성 되는 자기장 은" 이온' 광선 의 방향성 밀도 를 증가 시켜 "필름 '증착 의 적용 범위 와 균일성 을 향상 시킨다. ANELVA ILC-1051은 증착을 최적화하는 다양한 기능을 제공합니다. 진공 관측 창 (vacuum observation window) 이 있어 진단 목적으로 사용할 수 있으며 기판 위치 및 마스킹이 적절합니다. 시스템의 기본 압력은 약 1x10-4 Pa이며, 증착은 최대 -2,500V의 기질 바이어스 전압으로 최대 1x10-3 Pa에 도달 할 수 있습니다. 온도는 실온에서 섭씨 300도까지 제어 할 수 있습니다. 이 장치에는 안전성과 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 과 기판 (기판) 을 움직이는 모터를 모니터링할 수있는 인터 록 (Interlock) 이 내장되어 있습니다. 이 도구는 가스 및/또는 용량 제어를 허용하는 음극 피드 스로트와 함께 제공됩니다. RF 생성기 (RF generator) 옵션을 사용하여 더 높은 이온 밀도를 제공하고 더 높은 증착율에서 작동을 활성화할 수 있습니다. 대용량 터보 펌프 (turbo pump) 와 최대 게이지 압력 게이지 (maxigauge pressure gauge) 는 진공실을 유지 관리하고 모니터링하는 데 필요한 백업을 제공합니다. 또한, 창문 포트를 사용하여 증착 중 필름 성장을 모니터링하기 위해 현장 내 (in-situ) 광학 측정 장비를 설치할 수 있습니다. CANON/ANELVA ILC-1051을 사용하여 증착 된 스퍼터 필름은 좋은 적용 범위, 균일 한 표면 및 뛰어난 표면 거칠기를 가지고 있습니다. 영화는 접착력과 평탄함이 좋은 경향이 있습니다. 자산은 신뢰성이 높고 반복 가능하며 다층 필름 및 전자 제품, MEMS, 광전자 (optoelectronics) 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 모델에는 장비에 대한 원격 액세스 (remote access) 및 기타 유용한 기능을 제공하는 다양한 소프트웨어 (software) 옵션도 함께 제공됩니다.