판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9257784

CANON/ANELVA ILC 1051 스퍼터링 장비는 박막 증착을 위해 설계된 전기 마그네트론 스퍼터링 시스템입니다. 박막의 균일성과 반복성이 뛰어난 고성능, 고정밀도, 자동화된 산업단위다. CANON ILC 1051은 2 단계 및 3 단계 공정을 사용하여 금속, 산화물 및 질화물을 증착 할 수 있습니다. 그것 은 광범위 한 재료 에 적합 하며, 매우 얇은 층 에서 두꺼운 "필름 '에 이르기 까지 여러 가지 두께 로" 필름' 을 입금 할 수 있다. 순도가 높은 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 와 최고의 오염 제어 머신을 갖춘 초고속 진공 환경이 있습니다. 이 스퍼터링 도구는 고급 X-Y 테이블에 의해 제어되며, 이를 통해 스퍼터링 대상 (Sputtering Target) 과 기판을 정확하게 배치 할 수 있습니다. ANELVA ILC-1051에는 조정 가능한 z-anais 자산이 있으며, 곡면에 박막을 배치하는 기능을 제공합니다. 첨단 냉각 모델 (Advanced Cooling Model) 을 장착하여 스퍼터링 대상과 기판 모두에 필요한 열 제어를 제공합니다. 캐논 ILC-1051 (CANON ILC-1051) 은 기울기 가능한 대상, 독립적 인 질량 흐름 컨트롤러, 온도 컨트롤러, 스퍼터링 프로세스의 성능을 제공하는 자동화된 플라즈마 생성기 등 다양한 구성 요소를 갖추고 있습니다. 또한 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 와 예금 필름 (deposited film) 을 모두 모니터링하기 위해 컴퓨터 제어 진단 시스템이 장착되어 있습니다. 이 스퍼터링 (sputtering) 장비의 독특한 특징 중 하나는 고급 레이저 기반 분석 시스템 (advanced laser-based analysis system) 으로, 퇴적된 필름의 구성 및 구조에 대한 자세한 데이터를 제공 할 수 있습니다. 이 단위는 또한 단계 높이와 레이어 두께를 측정하는 데 사용할 수 있으며, 현장 증착 (in-situ deposition) 특성을 모니터할 수도 있습니다. CANON/ANELVA ILC-1051은 매우 자동화되어 있으며, 사전 경험이 제한된 사용자에게도 사용이 간편합니다. 즉, 사용자의 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있으며, 모듈식 (modular) 설계를 통해 유지 보수 및 업그레이드를 간편하게 수행할 수 있습니다. 그것 은 신뢰 할 만한 기계 이며, 뛰어난 성능 과 질 로 말미암아, 연구, 개발, 산업 을 위한 훌륭 한 선택 을 하게 된다.