판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9219991

CANON/ANELVA ILC 1051 스퍼터링 장비는 오늘날의 산업 생산 라인의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 시스템입니다. 이 고급 스퍼터링 장치는 광범위한 스퍼터링 응용 프로그램 내에서 고정밀 박막 증착을 가능하게합니다. 기계에는 이온 소스, 스퍼터링 챔버, 진공 펌프 및 제어 캐비닛이 포함됩니다. 이온 소스에는 DC 마그네트론 스퍼터링 소스, 밀봉 된 음극 소스 및 이온 빔 소스가 장착되어 있습니다. 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 최대 3 개의 목표를 수용 할 수 있도록 충분히 큽니다. 챔버에는 조절 가능한 온도, 다중 가스 분사 시스템 및 조절 가능한 압력이 있습니다. 약실 에 붙어 있는 진공 "펌프 '는" 스퍼터링' 과정 이 일어날 수 있도록 진공 "펌프 '를 만든다. 제어 캐비닛에는 스퍼터링 도구를 제어, 작동, 모니터링 및 유지 관리하기 위한 필수 구성 요소가 포함되어 있습니다. DC 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 는 영화를 높은 속도로 증착 할 수 있으므로 대규모 생산 라인에 적합합니다. 밀봉 된 음극 소스는 매우 정밀한 박막 증착을 허용합니다. 그 이온 빔 소스는 표적 증착을 위해 이온의 집중된 빔을 생성하여, 더 높은 정밀도를 가능하게한다. 조정 가능한 메탄 흐름은 원하는 속도로 균일 한 증착을 보장합니다. 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 내에서 조절 가능한 온도를 사용하면 다양한 특성을 가진 필름을 만들 수 있습니다. 캐논 ILC 1051 (CANON ILC 1051) 스퍼터링 자산은 뛰어난 성능 특성을 지닌 박막 제작을 가능하게 하는 풍부한 산업 스퍼터링 모델입니다. 이온 빔 소스 (ion beam source) 는 필름을 정확하게 증착 할 수있는 반면, 챔버의 조절 가능한 온도는 다양한 특성을 가진 필름을 생성 할 수있다. 광범위한 산업 생산 라인에 적합한 솔루션입니다.