판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9156540

CANON/ANELVA ILC 1051 스퍼터링 (sputtering) 장비는 집적 회로, 데이터 저장 및 기타 첨단 장치 제작을 위해 탁월한 균일 적용 범위 및 스텝 적용 범위를 갖춘 박막 (thin film) 을 배치할 수 있는 고급 고정밀 공정 도구입니다. CANON ILC 1051은 로드 락 챔버, 통합 RF/DC 전원 공급 장치, 고 진공 장치 및 DC 마그네트론 스퍼터링을위한 틸테이블 평면 마그네트론 음극을 갖춘 통합 스퍼터링 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 기계에는 저압 3 MHz RF 바이어스가 장착되어 있으며, 스퍼터링 프로세스를 촉진하기 위해 제어 가능한 폭격 전력을 제공합니다. 저압 RF 전력은 스퍼터 (sputtered) 증착의 균일성을 높이고 열 손상에 대한 필름의 내성을 증가시킵니다. 기울기 가능한 평면 음극은 최대 150 ° C의 온도에 도달하여 증착 공정을 위해 더 깨끗한 표면을 만들 수 있습니다. ANELVA ILC-1051은 개별적으로 조정 가능한 호가있는 "이중 호" 기술을 사용하여 균일 성과 재생성 가능한 스퍼터링 결과를 제공합니다. 이 기술에는 두 개의 회전 호가 포함되므로 처리량이 높아지고 프로세스 품질이 향상됩니다. 이중호 (Dual Arc) 기술을 사용하면 호 사이의 거리를 정확하게 조정하여 매우 얇은 레이어 증착을 가능하게 할 수 있습니다. 또한 CANON/ANELVA ILC-1051에는 필름 품질, 접착 및 에칭 저항을 향상시키는 독특한 이온 가속 기술이 장착되어 있습니다. 또한, ANELVA ILC 1051 스퍼터링 도구는 DC 전원 공급 장치, RF 전원 공급 장치, 고진공 자산 및 기타 컨트롤로 구성된 고속 프로세스 컨트롤러와 최대 프로세스 안정성 및 유지 보수 무료 작동을 위한 여러 안전 시스템으로 설계되었습니다. 또한 프로세스 정밀도 향상, 세밀한 튜닝 기능, 유지 보수 간소화, 안전 향상, 다운타임 단축을 위해 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 ILC-1051 컨트롤러는 자가 모니터링 (Self-Monitoring) 모드로 작동하며, 각 프로세스의 데이터를 기록하여 전체 배치 과정에서 일관된 레이어 두께를 보장합니다. 결론적으로 ILC 1051 은 첨단 기술 장치 제작을 위한 고급, 정확하고 안정적인 기능을 갖춘 강력한 스퍼터링 (sputtering) 모델입니다. 공정 품질 향상을 위해 개별적으로 조정 가능한 호를 갖춘 듀얼 아크 (Dual Arc) 기술, 향상된 필름 접착 및 식각 저항을위한 이온 가속 기술, 모니터링 기능과 고급 안전 시스템을 갖춘 고속 컨트롤러 (High-Speed Controller) 가 특징입니다.