판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9144936

CANON/ANELVA ILC 1051 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 필름 레이어와 재료를 다양한 기판에 배치하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 얇은 재료 레이어를 매우 정확하고 일관되게 플랫 (flat) 및 곡면 (curved surface) 에 스퍼터링하는 기능이 있습니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 인 고 진공 챔버 (high-vacuum chamber) 와 챔버 압력 제어 장치 (chamber pressure control unit) 로 구성됩니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 챔버에서 가스 분자를 대피시킬 수있을만큼 낮은 염기압을 유지하기 위해 터보 분자 펌프를 갖추고 있습니다. 이 과정을 디가싱이라고합니다. 방은 또한 물 재킷 (water jacket) 과 함께 챔버 (chamber) 의 외부 벽을 일정한 온도로 유지하고 펌핑 성능을 향상시킵니다. 약실 압력 조절 기계는 이온 소스와 전원 공급 장치의 조합입니다. "이온 '원 은 양성" 이온' 과 음성 "이온 '을 생성 하는데, 이것 은 원자 를 흥분 시키고" 스퍼터링' 을 생성 하기 위해 챔버 '의 원자 와 분자 와 충돌 한다. 그 다음 에 "에너지 '는 전자 총 과" 가스' 원 에 가해지는 전압 을 제어 하여 원하는 "스퍼터링 '속도 를 달성 한다. CANON ILC 1051을 사용하여 다양한 재료 및 필름 레이어를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 여기에는 금속, 합금, 산화물 및 질화물이 포함됩니다. 또한 "실리콘 ', 유리," 플라스틱' 등 여러 가지 기판 에 스퍼터 하는 능력 도 있다. 스퍼터링 외에도, ANELVA ILC-1051은 에칭 및 표면 청소와 같은 프로세스에 사용될 수도 있습니다. CANON/ANELVA ILC-1051에는 수동 또는 자동 모드로 작동 할 수있는 제어 도구가 있습니다. 수동 (manual) 모드에서 연산자는 원하는 매개변수를 달성하기 위해 압력, 온도, 전압 등의 매개변수를 수동으로 조정할 수 있습니다. 자동 모드에서는 제어 에셋이 원하는 매개변수를 독립적으로 유지합니다. 이 모델에는 자동 전원 끄기 메커니즘, 비상구 (Emergency Exit), 비상 차단 스위치 (Emergency Shut-off Switch) 와 같은 다양한 안전 기능도 제공됩니다. 이 장비는 또한 추가 안전을 위해 잠글 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로, ILC-1051 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 은 신뢰할 수 있고 견고한 장치로, 다양한 필름 레이어와 재료를 다양한 기판에 배치하는 데 사용할 수 있습니다. 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 작동 모드를 모두 제공하며, 최적의 작동을 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다.