판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9134663

CANON/ANELVA ILC 1051은 반도체 산업에서 산업용으로 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 사용자에게 최고 수준의 정확성과 재현성을 제공하도록 설계된 다용도 (versatile) 시스템입니다. CANON ILC 1051은 고급 선형 모터 제어 기계가있는 단일 챔버, 이중 음극 스퍼터링 장치입니다. 이 도구는 독립적 인 증기 증착실, 고급 가스 흐름 전달 자산 및 고출력 펄스 마그네트론 스퍼터링 (pulsed magnetron sputtering) 을 활용하여 장기적인 균일성을 달성합니다. 이 모델은 뛰어난 반복성을 제공하며, 최소한의 연산자 개입으로 재현 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. 특정 가스 공급 요구 사항에 맞게 설정 할 수있는 온도 조절 가스 전달 장비가 있습니다. 이 시스템에는 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 용 온도 조절 장치가 통합되어 있어 균일성과 일관된 작동이 보장됩니다. 다양한 스퍼터링 대상, 모듈 식 챔버 디자인, 다양한 보조 재료를 갖춘 ANELVA ILC-1051 (ANELVA ILC-1051) 은 산업 사용자의 요구에 맞게 조정되었습니다. 기계는 가스 믹서 (gas mixer) 와 투셋 포인트 (twosetpoint) 를 갖추고 있으며 정확하고 재생성적으로 조정 할 수 있습니다. 또한 가공 챔버 (processing chamber) 에는 2 개의 개별 난방 요소가 있으며, 사용자는 챔버 (chamber) 의 온도를 정확하게 제어하고 박막 증착에서 다양한 재료에 대한 광범위한 매개변수를 달성 할 수 있습니다. 또한 ILC-1051 은 프로세스가 최적의 안전 수준에서 실행되도록 하는 고급 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control) 툴을 제공합니다. 안전상의 이유로, ILC 1051 은 사용자에게 모델의 모든 이상을 경고하는 포괄적인 알람 (alarm) 자산으로 설계되었습니다. 지능형 후킹 및 접지 장비는 안전 요구 사항 및 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 CE, UL 및 ISO 9001을 포함한 안전 요건 및 인증을 충족합니다. ILC 는 다운타임을 최소화하고, 새로운 자재 (material) 에 대한 수요가 증가하거나 새로운 애플리케이션이 도입됨에 따라 쉽게 업그레이드할 수 있도록 설계되었습니다. CANON/ANELVA ILC-1051에는 사용자에게 친숙한 웹 기반 인터페이스가 포함되어 있어, 사용자가 원격으로 장치를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이를 통해 운영자는 생산성을 극대화하고 프로세스 진행 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. CANON ILC-1051은 사용자에게 최고 수준의 성능, 정확성 및 반복 가능성을 제공합니다. 고급 설계 (Advanced Design) 와 기능을 통해 박막 증착 프로세스 (Thin Film Deposition Process) 에서 우수한 결과를 얻으려고 하는 사용자에게 이상적인 선택이 됩니다.