판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9121831

CANON/ANELVA ILC 1051은 반도체, 태양광 및 기타 산업 응용 분야를 위해 설계된 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 고급 이온 빔 소스 (ion beam source), 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러 (programmable process controller) 및 모듈식 설계로 유지 보수가 용이합니다. 이 시스템은 표준 이온 빔 스퍼터링, 이온 도금 및 화학 증착 (CVD) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. CANON ILC 1051은 다양한 기판 재료 및 이온 소스를 제공하며, 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 고출력 이온 빔 (ion beam) 을 사용하여 태양 전지 (solar cell) 나 LED (LED) 와 같은 반도체 장치를 폭격하여 원하는 재료의 얇고 전도성 필름을 만듭니다. 이온 빔 (ion beam) 은 레이저 (laser) 에 의해 생성 된 후 기판에 집중되어 향한다. 기질은 실리콘, 질화 갈륨, 알루미늄, 탄화 텅스텐 등 다양한 물질로 구성됩니다. 기계에는 스퍼터링 (sputtering) 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 여기에는 전압, 가스 흐름 속도, 전류 및 전원이 포함됩니다. 또한 기판의 강착 속도와 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. "이온 '광선 의 힘 과 온도 도 조정 하여" 스퍼터링' 과정 을 최적화 할 수 있다. ANELVA ILC-1051 은 안정적이고 효율적인 스퍼터링 툴로서 다운타임을 최소화하면서 성능을 극대화합니다. 다양한 스퍼터링 워크로드에 대한 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 높은 정확성과 반복성이 필요한 응용 프로그램에도 적합합니다. 유지 보수 및 서비스가 간편한 모듈식 디자인이 있습니다. CANON/ANELVA ILC-1051은 광범위한 산업 응용 분야에 이상적인 스퍼터링 모델입니다.