판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #293821354

CANON/ANELVA ILC 1051은 반도체 처리에 사용하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 산화물, 금속, 질화물, 유기 수동층 등 다양한 기질에 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. CANON ILC 1051은 또한 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 티타늄, 크롬, 구리, 알루미늄 등 다양한 재료의 필름을 증착 할 수있는 옵션을 제공합니다. 이 시스템에는 통합 프로세스 챔버와 특허받은 로드 잠금 장치 (load lock unit) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 기계 는 기판 에 재질 을 신속 히 그리고 높은 처리량 으로 배치 할 수 있다. 또한, 로드 잠금 (load lock) 을 사용하면 챔버 내부를 오염 된 공기에 노출시키지 않고 여러 기판을 한꺼번에 적재 및 언로드할 수 있습니다. 통합 공정 챔버 (integrated process chamber) 는 균일하게 가열되며 작업 영역이 넓어 두께가 다양한 박막 (thin film) 을 증착 할 수 있습니다. 또한 필름 두께를 정확하게 제어 할 수있는 매우 균일 한 필름을 생산할 수 있습니다. 이 도구에는 조절 가능한 가스 흐름 제어 보드와 스퍼터 압력 모니터가 장착되어 있습니다. 이것 은 "챔버 '내 의 환경 을 제어 하고," 가스' 압력 을 조정 하여 원하는 "스퍼터링 '속도 를 달성 하도록 한다. 에셋은 또한 증착 과정이 진행되는 동안 기판을 회전시킬 수있는 회전 메커니즘 (rotation mechanism) 을 갖추고 있으며, 이는 불균일 한 필름 증착으로 인한 균일성 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 모델은 스퍼터링 속도를 제어하기 위해 DC 전원 공급 장치와 멀티 플레이트 장비를 사용합니다. 이를 통해 증착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 DC 전원 공급 장치 (DC power supply) 를 사용하면 대용량 기판 및 다양한 두께의 기판 (기판) 을 포함하여 다양한 기판 유형에 재료를 배치 할 수 있습니다. ANELVA ILC-1051 (ANELVA ILC-1051) 은 안정적이고 효율적인 장치로, 반도체 산업에 광범위한 기능과 이점을 제공합니다. 그것 은 다양 한 두께 의 박막 을 "스퍼터링 '속도 를 정밀 하게 제어 하여 여러 가지 기판 에 증착 시킬 수 있다. 또한, 넓은 작업 영역을 제공하며, 빠른 기판 적재 및 언로드를위한 통합 로드 락 머신 (load lock machine) 이 있으므로 반도체 처리에 이상적입니다.