판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #293655450

CANON/ANELVA ILC 1051은 고품질 단일 필름 증착 기능을 제공하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 광범위 한" 스퍼터링' 의 표적 을 이용 하여 여러 가지 응용 을 위한 여러 종류 의 "코우팅 '을 만들어 낼 수 있다. 스퍼터링 장치는 베이스 유닛, 진공 챔버, 컨트롤러, 대상 홀더 및 배기 머신으로 구성됩니다. 기본 장치에는 자동 로드 및 언로드 챔버 (automatic loading and unloading chamber) 와 세트 포인트 컨트롤러 (set-point controller) 및 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 를 포함한 도구 내의 진공을 조절하기 위해 필요한 장비가 있습니다. 진공은 이온화 게이지와 압력 컨트롤러로 모니터링됩니다. 비활성 "가스 '가 차압 조절기 를 통해 자산 에 도입 되어 압력 을 감소 시킨다. 기본 장치에는 전원 공급 장치와 고주파 생성기가 있습니다. 이 모델의 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 부식 보호를 위해 아노디 화 된 알루미늄 코팅이있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌습니다. 필름 증착을위한 온도 안정적인 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 진공실에는 확산 펌프, 터보 분자 펌프, 범용 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 공정 챔버에는 공정 챔버 외부에서 오염되는 것을 방지하기 위해 스테인레스 스틸 배플 (stainless-steel baffle) 이 장착되어 있습니다. 표적 "홀더 '가" 챔버' 안 에 장착 되며, "스퍼터링 '표적 을 안전 하게 고정 시키도록 설계 되었다. 대상 홀더 (Target holder) 는 다른 재료로 만든 것과 모양이 다른 것을 포함하여 모든 크기의 스퍼터링 목표를 수락하도록 설계되었습니다. 대상 보유자 (Target holder) 는 챔버 내에서 타겟을 쉽게 포지셔닝할 수 있도록 설계되었습니다. 장비는 최적의 필름 증착을 위해 시스템의 매개변수를 모니터링하는 컴퓨터 제어 모듈 (Computerized Control Module) 에 의해 제어됩니다. 또한 이 모듈을 사용하여 스퍼터링 압력 (sputtering pressure), 시간 (time), 전원 (power) 과 같은 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 장치는 또한 스퍼터링 중에 생성 된 과도한 입자와 가스를 제거하는 배기 기계 (Excess Machine) 를 특징으로합니다. CANON ILC 1051은 고품질 단일 필름 증착 결과를 제공 할 수있는 효율적인 도구입니다. 이 자산은 대상 재료 및 모양이 다양하며, 최적의 스퍼터링 (sputtering) 환경을 제공하는 기능을 포함합니다. 또한 이러한 기능을 통해 프로세스 매개변수를 보다 쉽게 관리하고 최적의 작동을 보장할 수 있습니다.