판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 MKII #9390490

CANON/ANELVA ILC 1051 MKII는 물리적 증기 증착 프로세스에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 재료에 얇은 필름, 일반적으로 표면에 금속 필름을 만드는 데 사용되는 프로세스입니다. 이 스퍼터 시스템은 멀티 플라즈마 이온 소스 (multi-plasma ion source) 로 구동되며, 뛰어난 표면 품질과 높은 증착률을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. CANON ILC 1051 MKII는 스테인리스 스틸로 구성된 진공실을 특징으로하며 약 260 리터의 부피를 가지고 있습니다. 4 축 선형 모터 드라이버를 장착하여 정확한 3 차원 스퍼터 증착을 허용합니다. 이 장치에는 하중 잠금 챔버 (load lock chamber) 와 배기 펌프 (exhaust pump) 가 장착되어 있으며, 효율적인 공정 주기를 위해 챔버를 빠르게 대피시키는 데 사용됩니다. 스퍼터링을 위해 ANELVA ILC-1051 MKII는 최대 4 개의 음극을 사용하므로 여러 필름을 동시에 증착 할 수 있습니다. 각 음극은 스퍼터링 할 대상 소재 (target material to sputtered) 로 구성되며, 기계에는 각 음극에 최대 4500 와트를 공급할 수 있는 조절 가능한 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이 도구에는 고주파 스퍼터링을위한 조정 가능한 가변 주파수 무선 주파수 (RF) 전원 공급 장치 (RF) 가 장착되어 있어 높은 증착율과 균일 한 레이어 두께를 촉진할 수 있습니다. ILC-1051 MKII는 고속 및 저속 스퍼터링, 직접, 각도 및 이중 스퍼터링, 회전 음극 스퍼터링 등 다양한 스퍼터 프로세스를 실행할 수 있습니다. 에셋은 또한 이동 가능한 미드 플레인 (midplane) 을 가지고 있으며, 이를 통해 다양한 크기와 모양의 기판에 필름을 증착 할 수 있습니다. ILC 1051 MKII 에는 스퍼터 프로세스를 모니터링하고 제어하는 지능형 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러에는 터치 스크린 디스플레이 (touch-screen display), 프로그래밍 가능한 버튼, 상태 표시기 (status indicator) 가 포함되어 있어 운영자가 스퍼터링 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 그에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 컨트롤러에는 자동 스퍼터링 시스템으로의 원활한 통합을 위한 바코드 리더도 포함되어 있습니다. 결론적으로, CANON/ANELVA ILC-1051 MKII는 뛰어난 표면 품질과 높은 증착 속도를 제공하는 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델입니다. 이 장비에는 멀티 플라즈마 이온 소스 (multi-plasma ion source), 4500 와트 조절 가능 전원 공급 장치, 다양한 크기와 모양의 기판에 필름을 증착 할 수있는 이동식 미드 플레인이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 지능형 컨트롤러 (Intelligent Controller) 를 장착하여 운영자가 실시간으로 스퍼터링 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있으며, 이에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다.