판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1015i #9105641

CANON/ANELVA ILC 1015i는 다양한 기판에 균일 한 두께의 박막을 형성하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 시스템은 전원 공급 장치, 이온 소스 및 플라즈마 소스로 구성됩니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 장치의 핵심이며 스퍼터링 전류와 전압을 제어합니다. 전압 은 "이온 '원 과 목표물 사이 의 거리 를 결정 하고 전류 는" 이온' 의 폭격 속도 를 결정 한다. 전원 공급 장치는 또한 스퍼터 전류 (sputter current) 수준에 대한 피드백을 제공하며, 과부하 또는 방화를 방지하는 모니터링 및 안전 기능이 있습니다. 이온 소스 (ion source) 는 목표 물질에 중점을 둔 이온을 공급하기 위해 사용되며, 따라서 대상 물질 원자의 증발에 필요한 열 에너지를 제공한다. 이온 소스는 일반적으로 무선 주파수 (RF), 직류 (DC) 또는 마그네트론 스퍼터입니다. 혈장 공급원은 스퍼터링 챔버에 플라즈마 환경을 만드는 데 사용됩니다. 스퍼터링에 많이 사용되는 전자와 이온의 고밀도 플라즈마 토치 (torch of electron and ion) 를 생성하여이를 달성합니다. "플라즈마 '는 표적 물질 과" 스퍼터' 로 만든 "가스 '를 광선 방전 에 주입 시켜서 만들어지며, 그 결과 양극 과 음극 사이 에" 스파아크' 가 생긴다. 캐논 ILC 1015i (CANON ILC 1015i) 는 산업 표준을 충족하도록 인증되었으며, 27 리터의 총 챔버 부피로 2.5 ~ 12.7 mm 두께의 기판을 수행하도록 설계되었습니다. 증발, RF 및 DC 스퍼터링, 이온 빔 폭격 및 기타 표준 스퍼터링 프로세스를 지원합니다. ANELVA ILC 1015i는 프로세스 단조 기능, 높은 수준의 컴퓨터 제어, 별도의 증착 및 베이크 사이클, 여러 대상 재료 등의 기능을 갖춘 견고한 기계입니다. 다중 레이어 스퍼터링 (multi-layer sputtering) 기능을 사용하면 세부 패턴과 복합 레이어를 생성하고, 두께가 균일한 모든 크기의 개체를 코팅할 수 있습니다. 또한 의료 및 식품 가공, 광학 필터, 광학 도구의 보호 계층, 장식 코팅을위한 하드 코팅 (hard coating) 을 만들 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 알람 (Alarm) 및 비상 (Emergency) 종료를 비롯하여 신뢰할 수 있는 운영 매개변수를 설정할 수 있는 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 와 같은 여러 안전 기능이 있습니다. 이를 통해 자산을 안전하게 사용할 수 있습니다. 결론적으로, ILC 1015i Sputtering Model은 두께가 균일한 박막을 만들 수있는 고급 장비입니다. 멀티 레이어 (multi-layer) 스퍼터링 기능뿐만 아니라 안정적이고 안전한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능과 안전 메커니즘으로 인해 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 적합한 선택이 가능합니다.