판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1015i #9101584

CANON/ANELVA ILC 1015i는 진공에서 금속, 도자기 및 중합체를 기질로 스퍼터링하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 넓은 영역에서 균일 한 필름을 높은 정확도와 제어 (control) 로 증착시킬 수 있습니다. 1015i에는 특허를 받은 이중 주파수 RF 전원 공급 장치 모듈이 있으며, 이 모듈은 4 MHz 및 13.56 MHz에서 모두 작동할 수 있습니다. 이것 은 기계 가 용해 되지 않는 금속 으로부터 "폴리머 '에 이르기 까지 여러 가지 물질 과 함께 사용 하기 에 적합 하며, 증착 된" 필름' 두께 를 극히 정밀 하게 제어 할 수 있게 해 준다. 또한 1015i (자동 방전 제어) 는 증착 과정의 불일치를 제거하는 데 도움이 될 수 있습니다. 1015i 의 "스퍼터링 챔버 '에는" 스퍼터링' 과정 중 에 물질 을 기화 시키는 이온화 된 입자 를 위한 전자 빔 건 이 장착 되어 있다. 이것은 균일 한 스퍼터링을 보장하며 기계적 마모보다 더 큰 효율성을 달성합니다. 챔버에는 증착율, 재조정 속도, 입자 증착 특성을 제어하기 위해 대형 가스 혼합물을 도입하기위한 2 개의 가스 분사 모듈 (gas injection module) 이 있습니다. 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 에는 기판을 최대 1000 ° C까지 가열하는 데 사용할 수있는 고온 척이 있습니다. 이것 은 "세라믹 '이나" 폴리머' 와 같은 물질 로 만든 기질 에 유용 하며, 균일 한 "필름 '증착 을 위해 고온 이 필요 할 수 있다. 또한 1015i에는 전원 출력 레벨, 증착 속도, 기판 온도 (기판 온도) 와 같은 작동 매개변수를 설정할 수있는 고급 제어 에셋 (advanced control asset) 이 있습니다. 이를 통해 사용자는 모델을 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 1015i에는 컴퓨터 프로그래밍 가능한 인터페이스가 있으므로 사용자가 장비를 원격으로 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 안전성과 신뢰성을 염두에 두고 작동하도록 설계되었으며, 다양한 안전 스위치 (Safety Switch) 와 센서 (Sensor) 를 통해 장치와 사용자를 모두 보호합니다. 또한 연기를 추출하고 안전한 작업 환경을 유지하는 배기 기계가 특징입니다. 전체적으로, CANON ILC 1015i (CANON ILC 1015i) 는 다양한 기능과 기판에 사용할 수있는 다양한 기능을 제공하는 고급 스퍼터링 툴입니다. 공업용 스퍼터링 애플리케이션 (Sputtering Application) 에 이상적인 선택이라 할 뿐만 아니라 높은 정확도와 제어, 안전 기능 (Safety Features) 이 있습니다.