판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490

CANON/ANELVA ILC-1015는 대량 흐름 컨트롤러, 진공 시스템 및 전원 공급 장치가 장착 된 스퍼터링 장비입니다. 이 장치는 박막 증착, 마이크로 장치 제작, 기판 청소와 같은 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 기계는 두 가지 주요 구성 요소 (챔버와 전원 공급 플랫폼) 로 구성됩니다. 챔버는 진공실, 증착 원 및 기판 단계로 구성됩니다. 진공실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며, 기판 에 쉽게 접근 할 수 있는 종" 항아리' 로 되어 있다. 증착원은 챔버 도어에 최대 4 개의 독립적 인 스퍼터링 소스가 장착 된 단일 대상 공급으로 구성됩니다. 기판 단계는 조절 가능하며 최대 200mmx200mm 기판을 수용 할 수 있습니다. 캐논 ILC-1015 (CANON ILC-1015) 의 전원 공급 플랫폼은 스퍼터링 소스의 유연하고 정확한 전원 제어를 제공하여 정확한 박막 증착을 가능하게 합니다. 플랫폼은 DC 전압 제어를 위한 직류 (DC) 전원 공급 장치, 스퍼터링 소스의 PWM 제어를 위한 PWM (pulse-width modulation) 전원 공급 장치, RF 전원 공급 장치의 3 가지 유형의 전원 공급 장치로 구성됩니다. 스퍼터링 파워는 0-5kW (0-5kW) 에서 조정되어 두꺼운 층의 증착과 균일 한 구형 원자 클러스터를 만들 수 있습니다. 이 도구는 수동 또는 자동 모드로 작동할 수 있습니다. 수동 모드에서 사용자는 압력, 온도, RF 전원 등의 챔버 매개변수를 제어할 수 있습니다. 자동 모드에서 에셋은 PC (개인용 컴퓨터) 를 통해 프로그래밍되고 작동합니다. 사용자는 다양한 센서를 사용하여 증착율과 기판 온도를 측정 할 수도 있습니다. ANELVA ILC-1015는 정확하고 정확한 박막 증착을 가능하게하도록 설계된 고급 스퍼터링 모델입니다. 마이크로 장치 제작, 스퍼터 에칭 및 기타 스퍼터링 응용 프로그램에 적합합니다. 고급 전원 공급 장치 플랫폼과 사용자 친화적 운영 (user-friendly operation) 을 통해 ILC-1015 는 연구원들이 원하는 결과를 빠르고 효율적으로 달성할 수 있도록 지원합니다.