판매용 중고 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134664

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ID: 9134664
Sputtering system AR HE N2 DA 1988 vintage.
CANON ANELVA ILC-1013MK2는 CANON ANELVA Corporation에서 제조 한 스퍼터링 장비로 PVD (physical vapor deposition) 를 사용하여 기판을 통해 박막을 입금합니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 야외 설계로, 증착실의 최소 충전으로 높은 스퍼터 생산량을 높은 수준의 효율로 허용합니다. ILC-1013MK2는 세계 최초의 10GHz 주파수 범위를 갖춘 단일 RF 전원 공급 장치를 제공하며, 고급 이온 빔 기술과 함께 스퍼터링 속도 향상, 필름 두께 균일성 향상, 필름 밀도 향상, 핀홀 감소, 박막 성장 비용 절감. 단위의 간단한 레이아웃은 또한 N2 처리에서 이온 순도 제어 (ion purity control) 또는 압력 제어에 이르기까지 여러 프로세스의 빠른 통합을 가능하게한다. CANON ANELVA ILC-1013MK2에는 DC 마그네트론 소스가 장착되어 있어 스퍼터링 수익률이 향상되고 넓은 지역에 대한 균일성이 향상됩니다. 이 기계는 또한 공정 제어 기능을 특징으로하며, 단순하고 정확한 증착률 (deposition rate) 과 필름 두께 제어 (film thickness control) 를 가능하게합니다. 디지털 인터페이스 (Digital Interface) 를 사용하면 높은 정밀도 증착 프로세스를 위해 다양한 매개변수를 설정할 수 있습니다. 유압 압력 제어 도구 (Hydraulic Pressure Control Tool) 를 사용하면 기판을 손상시키지 않고도 균일 한 및 균질 한 필름을 얻을 수 있습니다. 고급 미러 복원 기술 (Advanced Mirror Restoration technology) 의 사용은 ILC-1013MK2로, 샘플에서 효율적인 스퍼터링을 방해 할 수있는 재료 축적을 억제하는 데 도움이됩니다. 이 기능은 또한 도달하기 어려운 부품에서 고품질의 손상이 없는 필름을 증착할 수 있습니다. CANON ANELVA ILC-1013MK2는 PVD 분야에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 저압 작동, 빠르고 쉬운 도구 설정, 빠른 프로세스 주기, 정확한 필름 강착 제어 (film deposition control) 를 통해 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다. 따라서 ILC-1013MK2는 PVD 업계의 많은 애플리케이션에서 점점 더 인기있는 선택이되었습니다. 많은 산업은 제품에 CANON ANELVA ILC-1013MK2를 사용하여 얻은 우수한 결과에 의존합니다. ILC-1013MK2 는 우수한 성능, 안정성, 사용 편의성 등을 자랑하며, 앞으로 몇 년 동안 업계 선두 주자로 자리잡을 것입니다.
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