판매용 중고 CANON / ANELVA ILC-1013 #9280811

CANON / ANELVA ILC-1013
ID: 9280811
Sputtering tables.
CANON/ANELVA ILC-1013은 고급 기술 솔루션의 글로벌 리더 인 CANON에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 은 금속, 세라믹, 하드 플라스틱, 유리 등 다양한 표면에서 고품질의 매우 순수한 박막 코팅을 생산할 수 있도록 설계되었습니다. CANON ILC-1013은 특히 산업 및 과학 실험실의 요구에 맞게 조정됩니다. ANELVA ILC-1013 스퍼터링 장치에는 다른 많은 스퍼터 시스템과 분리되는 여러 기능이 있습니다. 고귀한 "가스 '와 반응성 있는" 가스' 의 여러 가지 근원 을 갖추고 있어서, 여러 가지 재료 에 대한 "스퍼터링 '동력 과 증착율 을 더욱 정확 하게 제어 할 수 있다. 모든 가스 소스를 원격으로 제어하여 편의성과 정확성을 높일 수 있습니다. 이 기계의 고정밀 제어 및 레이저 정렬은 뛰어난 접착, 화학 내성, 균일 한 두께로 코팅을 달성합니다. 이 도구는 높은 처리 능력을 통해 증착 시간을 단축하는 반면, 고급 진공 자산 (advanced vacuum asset) 은 오염을 최대한으로 조절할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 ILC-1013 은 압력, 전력, 전류에 대한 안전 점검 (safety check) 을 실행하여 운영자의 안전을 항상 보장할 수 있습니다. CANON/ANELVA ILC-1013에는 마그네트론, 중간 주파수 및 삼중 음극 소스로 구성된 표준 소스 헤드 세트가 포함되어 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 금속, 유전체, 세라믹 재료, 다층 코팅에 결합 할 수있는 다양한 스퍼터링 대상 (sputtering target) 과 호환됩니다. 탁월한 프로세스 제어는 분광계, 랑무 아르 프로브 (Langmuir probe) 및 실시간 프로세스 피드백을 제공하는 현장 온도 센서가 장착 된 장비의 고급 플라즈마 진단 시스템에 의해 활성화됩니다. 캐논 ILC-1013 (CANON ILC-1013) 은 기술 기능 외에도 온도와 이온 (ion) 전류 조절 자동화, 저소음 작동, 오해 발생 시 경고를 제공하는 내장 입자 검출기 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 매개 변수 설정 및 프로세스 모니터링을 위한 고급 디스플레이 언어 (High-End Display Language) 를 통해 더욱 정확하고 사용이 간편합니다. LCD 디스플레이 인터페이스 (LCD Display Interface) 를 사용하면 여러 프로세스와 레시피를 저장하고 빠르게 액세스할 수 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 프로세스 제어, 레시피 제어, 안전 관리, 경보 설정 등 다양한 자동 제어 기능을 지원합니다. ANELVA ILC-1013은 전문적인 박막 증착을 위해 매우 고성능 스퍼터링 시스템이 필요한 실험실의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 정확 하게도, 균일 한 "코우팅 '은 정확성 과 고도 의 내식성 의 결합 으로 달성 될 수 있다. 이 기계의 특징과 안전 측정 (Safety Measures) 은 고품질의 박막 코팅 생산에 이상적인 도구입니다.
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