판매용 중고 CANON / ANELVA ILC-1013 #9275352

CANON/ANELVA ILC-1013 스퍼터링 장비는 박막의 스퍼터 증착에 사용되는 최첨단 도구입니다. 이 제품은 일관성 있는 두께와 균일성 (unifority) 의 필름을 만드는 안정적이고 정확한 방법을 제공합니다. CANON ILC-1013은 광전자 장치, 평면 패널 디스플레이, 태양 전지, 반도체 칩, 센서, MEMS 장치, 자동차 페인트 및 코팅을 포함한 다양한 응용 분야에 사용됩니다. ANELVA ILC-1013은 고급 Diode Laser Interlocked Cathodic Arc (ILC) 소스를 갖춘 매우 정교한 스퍼터 증착 시스템입니다. 이 소스는 균일 하고, 연속적이고, 반복 가능한 박막 코팅을 생산하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치에는 변조 된 디지털 아크 (digital arc) 전류 공급 장치가 포함되어 있으므로 아크 전달을 정확하게 제어 할 수 있습니다. ILC-1013에는 PLC 기반 공정 제어판, 베릴륨 합금 삽입이있는 스퍼터 대상 (옵션) 및 정교한 공랭식 진공기가 있습니다. ILC 소스와 함께 CANON/ANELVA ILC-1013에는 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 보장하기 위해 다양한 다른 고급 구성 요소가 포함되어 있습니다. 여기에는 RF 전원 공급 장치, 고정밀 압력 게이지, 공랭식 대상 홀더, 누수 밸브 및 ESD 안전 챔버가 포함됩니다. 모든 컴포넌트는 안정적이고 효과적인 증착 도구를 만들기 위해 함께 작동하도록 설계되었습니다. 또한 CANON ILC-1013 스퍼터링 (sputtering) 자산에는 작동 및 모니터링이 용이한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 고도로 정확한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 가 포함되며, 스퍼터링 중 플라스마의 온도를 측정하고 제어 할 수 있습니다. 또한 내장형 소프트웨어 제품군으로, 프로세스의 실시간 모니터 외에, 모델을 제어할 수 있는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 이 소프트웨어 제품군에는 다양한 레시피 및 WYSIWYG (WYSIWYG) 가 포함되어 있어 필요에 따라 신속하게 매개변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ANELVA ILC-1013 스퍼터링 장비는 박막 증착 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 고급 ILC 소스, 고급 구성 요소, 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어 등을 갖춘 이 시스템은 편리한 박막 (thin-film) 레이어를 생성할 수 있는 효율적이고 안정적인 옵션을 제공합니다. 또한, 다양한 안전 기능으로 인해 모든 실험실의 안전하고 안정적인 스퍼터 증착 장치 (sputter deposition unit) 가됩니다.