판매용 중고 CANON / ANELVA ILC-1013 #9269410

CANON/ANELVA ILC-1013은 CANON Corporation에서 제조 한 DC 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 산업 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 시스템입니다. CANON ILC-1013은 무선 주파수 AC 전원 공급 장치 (Radio Frequency AC Power Supply) 를 사용하여 고밀도 플라즈마 호 (Plasma Arc) 를 생성 한 다음 다양한 재료를 스퍼터팅하는 데 사용됩니다. 고밀도 플라즈마 아크 (Plasma Arc) 는 기존의 DC 스퍼터링 시스템보다 훨씬 높은 이온화 효율을 가능하게하여 증착률이 우수합니다. ANELVA ILC-1013에는 기판 일관성을 극대화하는 단단히 제어 된 웨이퍼 전송 장치가 있습니다. 이 기계의 고효율 디자인은 최종 코팅의 전반적인 균일 성과 지형을 향상시킵니다. 또한, ILC-1013은 기질의 정확한 위치를 자랑하여, 비교할 수없는 스퍼터 균일성 (sputter unifority) 과 기판 온도의 단단한 제어를 가능하게한다. CANON/ANELVA ILC-1013에는 온도 조절, 가스 흐름 제어 및 다중 목표 작동을 포함한 다양한 제어 옵션이 있습니다. CANON ILC-1013에는 저전압 모니터링 도구, 정적 방지 (anti-static protection), 기판 클립 보호 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 그것은 무거운 스테인레스 스틸 쉘 (stainless steel shell) 과 내부 금속 쉴드 (metal shield) 로 설계되어 외부 오염 원으로부터 궁극적 인 보호 및 차폐를 제공합니다. 작동 할 때 ANELVA ILC-1013은 통제 된 대기에 보관해야합니다. 이 자산은 냉각 및 대피 시스템을 사용하여 온도를 조절하고 깨끗한 환경을 유지합니다. 모든 구성 요소는 중앙 집중식 VCU (Vacuum Control Unit) 로 연결되어 무중단 진공 및 프로세스 안정성을 보장합니다. ILC-1013 은 코팅 프로세스에서 높은 품질과 일관성을 필요로 하는 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 그것 은 매우 다양 한 재료 를 증착 할 수 있으며, 의료, 자동차, 반도체 제조 등 여러 가지 산업 응용 분야 에 사용 될 수 있다. "깨어라!" ( 모델의 고급 (advanced) 기능을 사용하면 모든 유형의 증착에 귀중한 공구가 됩니다.