판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1013 #9068935

CANON/ANELVA ILC 1013은 다양한 응용 프로그램에 사용되는 특수 유형의 스퍼터링 장비입니다. CANON ILC 1013은 3 개의 주요 구성 요소 인 스퍼터 (소스) 챔버, cryo-pump 챔버 및 증착실이있는 3 개의 챔버 시스템입니다. 이 장치에는 Ion Laser Components Alignment Technology (ILC라고도 함) 가 있으며, 이는 대형 기판에서 작은 크기의 기능을 작동시킬 때 최고의 정밀도를 제공합니다. 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 에서는 금속, 도자기 및 유전체와 같은 다른 대상 재료가 음극 실에 장착됩니다. 그런 다음 챔버에는 저압 (1 mtorr) 에서 Ar 가스가 공급되며, 이 시점에서 적절한 목표 미디어는 DC 마그네트론으로부터 이온 플럭스를 받는다. 전압 과 전류 수준 에 따라, "스퍼터 '된 물질 의 침식 속도 와 조성 을 조절 할 수 있다. cryo-pump는 액체 질소를 사용하여 ~ 10-8 torr의 진공을 지원합니다. 이것은 질소의 열전도율, 진공 벽의 열전도율, 크료-펌프 (cryo-pump) 에 의해 생성 된 자기장 (magnetic field) 의 조합을 통해 수행됩니다. cryo-pump는 매우 균일하고 깨끗한 증착 환경을 제공합니다. 증착실 에는 재료 를 증착 시킬 기판 이 들어 있다. 이것 은 "필름 '의 두께 로 미리 정해진 속도 로" 기판' 을 한 위치 에서 다른 위치 로 이동 시키는 연속적 인 전달 장치 를 통하여 행해진다. 스퍼터 속도 컨트롤러는 증착율을 변화시키는 데 사용됩니다. 결론적으로, ANELVA ILC 1013은 아트 스퍼터링 머신 (art sputtering machine) 의 상태로, ILC 정렬과 같은 고급 기술을 통합하여 작은 기능에 완벽한 정렬을 제공합니다. 3 챔버 아키텍처에는 스퍼터 (sputter) 와 크라이 펌프 챔버 (cryo-pump chamber) 가 포함되어 있어 균일하고 깨끗한 퇴적을 보장합니다. 기판은 증착실 (deposition chamber) 에 구체적으로 배치되며, 미리 정해진 속도로 연속 전이 메커니즘을 겪는다. 이 도구 덕분 에, 금속, 도자기, 유전체 의 증착 과 같은 여러 가지 응용 을 할 수 있다.