판매용 중고 CANON / ANELVA ILC-1012 #9215758

CANON/ANELVA ILC-1012 스퍼터링 장비 (이하 "시스템") 는 정밀 엔지니어링, 반도체 및 전자 공학과 같은 분야의 응용 분야를위한 고급 코팅 장치입니다. 그 주된 목적 은 여러 가지 기판 에 "스퍼터팅 '을 하여 물질 의 얇은" 필름' 을 만드는 것 인데, 이것 은 "이온 '폭격 과 고온 의 결합 으로 인하여 원천" 펠렛' 에서 미세 입자 로 물질 을 분출 하는 과정 이다. 기계는 IH 진공 실, 전원 공급 장치 및 조준 헤드로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 사용자가 원하는 재료를 1000-30000 Pa.의 진공 압력으로 작동 챔버에 도입 할 수 있도록 해줍니다. 이는 포워드 (Forward) 및 리액티브 스퍼터링 (Reactive-Sputtering) 프로세스와 모두 호환되도록 설계되었습니다. 전원 공급 장치는 재료의 작업 기능 (work-function), 스퍼터 각도 (sputter angle) 및 스퍼터 속도 (sputter rate) 를 정확하게 제어 할 수있는 반면, 조준기는 스퍼터 입자의 방향을 미세하게 제어합니다. 전체 도구는 사용자 인터페이스가 단순화된 산업용 (industrial-grade) 컨트롤러에서 지원되며, 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 운영하고 수정할 수 있습니다. 이것은 반복 가능한 고품질 처리를 위해 최대 16 개의 사용자 정의 레시피를 저장하고 리콜하는 에셋 (Asset) 의 기능에 의해 더욱 도움이 됩니다. 모델의 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering of the Model) 은 얇은 층을 0.1 ° m 너비까지 세밀하고 균일한 스퍼터링을 제공합니다. 이는 레이어 두께에 단단한 내성이 필요한 고정밀 전자 응용 분야에 중요합니다. 이에 대해 장비 (Equipment) 는 최첨단 전자 산업의 요구 사항을 충족하는 스퍼터링 (sputtering) 매개변수를 제어할 수 있습니다. 프로세스 제어는 종단점 탐지기 (End Point Detector) 와 같은 여러 보충 기능에 의해 추가로 지원됩니다. 이 시스템에서 사용자는 스퍼터링 대상 두께 (sputtering target thickness) 를 설정할 수 있으며, 원하는 두께가 달성되면 프로세스가 자동으로 중지됩니다. 또한, 유닛에는 진공 센서가 포함되어 있으며, 스퍼터링 중에 운영자가 챔버 압력을 모니터링 할 수 있습니다. 기계 (Machine) 에는 비상 또는 비정상적인 작동시 자산을 차단하는 비상 정지 도구 (Emergency Stop Tool) 도 있습니다. 요약하면, CANON ILC-1012 스퍼터링 모델은 전자 부품 또는 기판에 재료를 정확하게 코팅하기에 이상적인 선택입니다. 프로세스 제어 옵션, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface), 고급 엔지니어링 (advanced engineering) 등 다양한 기능을 갖추고 있어 수년 동안 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 툴이 될 것입니다.