판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1012 #9103093

CANON/ANELVA ILC 1012는 반도체 및 박막 장치 제조에 이상적인 고성능, 다기능 스퍼터링 장비입니다. RF 용량이 높은 고출력 브러시리스 스퍼터링 시스템 (고출력, 다이오드 배치 및 컴퓨터 제어 크세논-이온 쇼어 헤드) 으로 구성됩니다. 이 장치는 크기와 모양이 다른 기판에 걸쳐 개선 된 코팅, 더 높은 필름 증착 속도, 균일 성을 제공하도록 설계되었습니다. CANON ILC 1012는 최대 470V의 균일 한 전기장을 갖춘 양극없는 진공 환경을 제공합니다. 이것은 전도성이 아닌 기질에서도 최고 수준의 필름 증착을 보장합니다. 이 기계는 또한 오염을 최소화하여 제품의 균일성을 보장하기 위해 거품이없는 챔버를 포함합니다. 필름 균일성 (film uniformity) 을 더욱 향상시키기 위해, 통합 (integrated) 기능을 사용하면 챔버 대상 마스크와 반전 된 설계 셔터를 통합하여 기판-대상 표면의 증착 속도를 최적화 할 수 있습니다. 이 도구는 알루미늄, 크롬, 탄탈럼을 포함하여 최대 8 개의 대상을 한 번에 결합 할 수 있으며, 다단계 응용 분야에 매우 다양합니다. 이 자산은 또한 각 목표에 대해 10 ~ 550 와트의 조절 가능한 전력을 제공하여 다양한 유형의 증착 프로세스에 이상적입니다. 또한, 이 모델에는 모든 편차를 인식하고 제거할 수있는 자동화된 프로세스 모델 (automated process model) 이 있어 필름 두께와 균일성을 월등히 제어할 수 있습니다. 또한 ANELVA ILC 1012 에는 손쉬운 데이터 획득 및 프로세스 제어를 위한 제어 소프트웨어 패키지 (control software package) 가 포함되어 있으며, 지능형 자동 조정 기능으로 스퍼터 프로세스를 동적으로 제어하여 증착 필름의 두께를 일정하게 유지할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있으며, 필요한 안전 장비 및 밀봉과 함께 수냉식 RF 발전기를 갖추고 있습니다. 전반적으로 ILC 1012 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 비용을 절감하고 프로세스 제어를 개선하여 고품질 코팅을 제공하며, 반도체 및 박막 장치 업계의 어플리케이션에 적합한 제품입니다.