판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1012 MK II #9068933

CANON/ANELVA ILC 1012 MK II는 진공 코팅에 사용하도록 설계된 특수 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 고정식, 다중 마그네트론 음극 설정과 이동 가능한 다중 마그네트론 양극으로 구성된 냉장 총 (cold-edge gun) 이 장착되어 있습니다. 이 조합은 매우 큰 인후트 (throat) 크기를 포함하여 전통적인 전자 빔 시스템 (electron beam system) 에 비해 몇 가지 이점을 제공하므로 큰 부품을 효율적으로 스퍼터링할 수 있습니다. 콜드 엣지 건 (cold-edge gun) 은 또한 다른 전자 빔 시스템보다 높은 압력을 사용할 수 있습니다. CANON ILC 1012 MK II는 여러 가지 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 구성을 제공하며, 각 구성은 고객의 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 25cm 작업 챔버로 구성된 표준 구성 (Standard Configuration) 은 최대 4 개의 대상 재료를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 챔버에는 5cm 액세스 포트가 있으며 0.6mbar 기본 압력과 0.2mbar 터보 펌프가 장착되어 있습니다. 옵션으로 제공되는 8cm 공정 챔버도 있습니다. 여기에는 0.45mbar 기본 압력과 0.1mbar 터보 펌프가 있습니다. 이 장치는 최대 24 개의 전원 공급 장치를 관리하는 제어 장치 (Control Unit) 로 설계되어 시스템 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 중앙 제어 데이터베이스 (Central Control Database) 를 사용하면 여러 레시피를 저장하여 애플리케이션 간에 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. 또한 통합된 장애 감지 (fault detection) 소프트웨어는 작업 중에 툴을 지속적으로 모니터링하고, 플래그를 올려 불규칙성이 발생할 경우 사용자에게 경고합니다. ANELVA ILC 1012 MK II는 운영 및 유지 보수가 용이한 다양한 기능을 가지고 있습니다. 에너지 절약 모드 (energy saving mode) 는 자산의 에너지 소비량을 지속적으로 모니터링하고, 모델 설정 및 작동을 위한 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 포함합니다. 또한, 이 장비는 높은 처리량을 처리하도록 설계되었으며, 일반적인 주기 시간은 2 분입니다. 고품질 소재의 견고한 구성과 사용은 시스템의 수명 (수명) 을 보장합니다. 이로써, 이 부대 전체에서 사용되는 산업 등급 (industrial-grade) 구성요소와 결합하여, 매우 안정적이고 재현 가능한 과정이 이루어집니다. 전반적으로, ILC 1012 MK II는 광범위한 산업 및 연구 애플리케이션의 요구를 충족 할 수있는 안정적이고 다재다능한 스퍼터링 머신입니다. 캐논/아넬바 ILC 1012 MK II (CANON/ANELVA ILC 1012 MK II) 는 목구멍의 큰 크기, 고압 기능, 손쉬운 작동 및 유지 보수, 에너지 절약 기능을 통해 진공 코팅과 관련된 모든 산업에 이상적인 선택입니다.