판매용 중고 CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II #9269327

CANON/ANELVA ILC-1012 Mark II는 다양한 박막 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 음극, 플라즈마 생성 전원 공급 장치, 가스 공급 장치 및 회전 테이블로 구성됩니다. 코어에서, 이 장치는 스퍼터링 공정에서 효율적인 이온 폭격에 필수적인 고밀도 플라즈마 생성을위한 유도 결합 플라즈마 (ICP) 코일 (coil) 을 특징으로한다. ICP 코일은 최대 5.8kW/cm2 범위의 전력 밀도를 갖는 아르곤 (argon) 과 같은 다양한 고귀한 가스의 플라즈마를 생성합니다. 이것은 특히 금, 이리듐과 같은 고온 코팅에 대한 광범위한 스퍼터링 적용을 허용합니다. "머신 '은" 마그네트론 스퍼터링' 의 신체적 현상 을 이용 하여 "스퍼터링 '음극 뒤 에 놓인" 마그넷' 을 이용 하여 표적 물질 로부터 방출되는 입자 들 을 기판 에서 낮게 유지 하여 "코우팅 '효율성 을 높이도록 설계 되었다. 최대 10kg의 직경 13.1cm 직사각형 대상을 갖추고 있습니다. 표적 은 기질 의 적용 범위 조차 360 도 회전 할 수 있으며, "스퍼터 '입자 를 생성 하기 위하여 금 이나 다른 물질 의 얇은" 필름' 을 입힌 것 이다. 이 도구에는 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 생성하는 데 사용되는 다양한 고귀한 가스 중 최대 5 개의 가스병을 수용하는 가스 공급 장치 (gas supply) 가 장착되어 있습니다. 이러 한 "가스 '의 압력 과 흐름 은 주 제어판 에서 정확 하게 조정 하여" 스퍼터링' 과정 을 최적화 할 수 있다. 에셋은 또한 기판의 정확하고 균일 한 코팅을 허용하는 고정밀 회전 테이블 (high-precision rotating table) 을 특징으로합니다. 테이블은 최소 5 rpm의 단계 크기로 분당 0 ~ 6000 회전할 수 있으므로 코팅 두께를 정확하게 조정할 수 있습니다. 캐논 ILC-1012 마크 II (CANON ILC-1012 Mark II) 는 다양한 응용 분야에 적합한 고품질 박막 코팅을 생산할 수있는 강력하고 효율적인 스퍼터링 모델로, 코팅 및 증착 실험실에 이상적인 선택입니다.