판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921

CANON I-1060SV2 + 1은 박막 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 다목적 스퍼터링 장비입니다. 기판에 다양한 금속, 합금, 산화물, 질화물 및 기타 물질을 침전시켜 원하는 특성을 가진 얇은 필름 (thin film) 을 만드는 데 사용됩니다. 이 시스템은 진공실, 강력한 마그네트론 스퍼터링 소스, 균일 한 증착을위한 회전 기판 홀더, 가스 배달 장치 (gas delivery unit) 및 기계를 모니터링하고 제어하는 광범위한 프로세스 컨트롤러를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며 통합 샤워 헤드 스퍼터 대상 인서트가 장착 된 원통형 디자인을 갖추고 있습니다. 스퍼터링 챔버를 모니터링하는 내부 뷰 포트가 특징이며, 기본 압력 10-9 torr의 가변 압력 범위는 10-3 ~ 10-8 torr입니다. 마그네트론 스퍼터링 소스는 최대 출력 전력이 20kw 인 2 개의 고출력 할로겐 램프로 구성됩니다. 그것 은 "이온화 '율 이 높으며" 스퍼터' 를 할 수 있는 여러 가지 재료 를 제공 한다. 회전 기판 홀더는 조정 가능한 속도 (0.2 ~ 10 RPM) 로 회전하여 전체 기판에 균일 한 증착을 생성하도록 프로그래밍 될 수있다. 이 도구에는 추가 균질성을 위해 진동 기능도 포함되어 있습니다. 가스 전달 자산은 원하는 처리 매개변수를 위해 챔버에 가스를 도입하는 데 사용됩니다. 이 모델의 가스 유량은 0-100sccm이며, 총 가스 압력 용량은 10-3 ~ 10-8 torr입니다. ANELVA I-1060SV2 + 1 장비는 작동 중 매개변수를 모니터링하고 설정을 변경할 수 있는 효율적인 프로세스 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 여기에는 프로그래밍 가능한 챔버 압력 표시기, 온도 표시기 및 전원 공급 전압 측정기가 포함됩니다. 이 시스템은 또한 전기 연동 보호 스위치를 통해 온도와 과압 경보를 제공합니다. 전반적으로 CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1은 안정적인 성능과 효과적인 증착을 제공하도록 설계된 고급 스퍼터링 장치입니다. 혁신적인 기술을 활용하여 사용자에게 사용 가능한 최신 시스템을 제공합니다. 광범위한 기능과 구성요소 (component) 를 통해 박막 증착 업계의 연구/제작 어플리케이션 모두에 이상적인 툴이 됩니다.