판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048

CANON I-1060SV2 + 1은 다양한 기판 재료에서 박막 코팅에 사용되는 자동 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 최대 10 "웨이퍼를 수용 할 수있는 5 포켓, 대용량 웨이퍼 로딩 챔버가 장착되어 있습니다. 이 장치는 다중 평면 음극을 사용하며, 이 음극은 독립적으로 제어될 수 있으며, 기판 전체에 걸쳐 증착 균일성을 제공합니다. 기계에는 자기 및 전자 빔 스퍼터링을위한 2 개의 음극이 있습니다. 음극 소스에는 e- 빔 특정 스퍼터링을 수행하기 위해 3 개, 일반 스퍼터링을 위해 2 개가 포함됩니다. 챔버 벽은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 코팅 균일성 증가를위한 기판에 아르곤 (Argon) 과 같은 낮은 반응성 고귀한 가스의 균일 한 분포를 제공합니다. 이 공구는 여러 회전 목표물 (rotating target) 과 독립 음극 (independent cathode) 을 사용하여 기판 표면에 균일 한 필름을 제공하여 전체 기판에 걸쳐 큰 균일 한 코팅을 달성 할 수 있습니다. 자산은 또한 전체 기판에서 균일성을 허용하는 원격 증착 제어 (remote deposition control) 를 제공합니다. 이 과정은 화학량 학적 표적 (stoichiometric target) 을 사용하여 효과적으로 제어 할 수 있으며, 각 음극에 대한 전원 설정을 개별적으로 조정하여 증착률을 제어 할 수 있습니다. ANELVA I-1060SV2 + 1은 최소 오염 물질과 우수한 프로세스 균일성으로 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 온도 조절 난방 요소 및 온도 프로브를 특징으로하여 균일 한 필름 강착을 보장합니다. 카세트 셔틀 트랜스퍼 (Cassette Shuttle Transfer) 장비는 또한 진공 상태에서 기판 교환을 수행하여 코팅 균일성을 높이기 위해 챔버 바닥 증착을 줄이기 위해 설계되었습니다. 결론적으로, CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1 스퍼터링 시스템은 박막을 균일성이 큰 다양한 기판 재료에 코팅하도록 설계되었습니다. 2 개의 독립적으로 제어되는 음극과 회전 대상, 그리고 코팅의 균일 한 증착을 보장하기 위해 원격 증착 제어 (remote deposition control) 및 온도 조절 요소 (temperate control elements) 가 특징입니다. 이 장치는 최소 오염 물질로 높은 증착율을 제공하며, 모두 품질, 균일 한 코팅을 달성합니다.