판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 #9148536

CANON/ANELVA I-1060은 반도체 및 관련 제품 제조에서 박막 증착에 주로 사용되는 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer), 유리 (glass) 및 기타 재료를 포함한 다양한 기판에 균일하고 재생 가능한 박막 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 기판 홀더와 스퍼터링 소스 (sputtering source) 와 목표를 갖춘 진공 받침대로 구성됩니다. 진공기는 가스 라인 (gas line) 에 연결되어 챔버에 도입 된 반응성 가스 (reactive gas) 를 제공합니다. 캐논 I-1060 (CANON I-1060) 은 자성 스퍼터링을 수행하도록 설계되었습니다. 공구에는 마그네트론 스퍼터 (Magnetron Sputter) 소스에 제어 전원을 공급하는 가변 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 스테핑 모터 구동 XY 단계를 사용하여 전체 웨이퍼의 균일 한 코팅을 위해 샘플 홀더의 정확하고 정확한 동작을 보장합니다. 또한, ANELVA I-1060에는 기판에서 재료의 개별 이온화를 측정하는 고 위치 장치 (high-position device) 가 장착되어 박막의 균일 한 두께를 보장합니다. 박막 (thin film) 의 특성을 측정하기 위해 모델에는 분광계 (spectrometer) 및/또는 타원계 (ellipsometer) 가 장착되어 웨이퍼의 다른 지점에서 재료 특성을 분석합니다. 또한, 이 장비는 손쉬운 유지 보수용으로 설계되었으며, 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 운영자 (operator) 와 환경의 안전을 보장하는 데 도움이 되는 기능이 포함됩니다. 이 시스템에는 잠재적 문제를 파악하고 해결하기 위한 자동 장애 진단 (fault diagnostic) 장치도 포함되어 있습니다. 전반적으로 I-1060 (I-1060) 은 반도체 산업에 사용되는 다양한 기판에 대해 일관되고 균일 한 박막 증착을 제공하도록 설계된 잘 설계된 스퍼터링 머신입니다. 이 도구 에는 "와퍼 '전체 의 균일 한" 코우팅' 과 "박막 '의 성질 을 분석 하기 위한 여러 가지 특징 이 들어 있다. 또한 다양한 안전/유지 보수 (Safety/Maintenance) 기능을 통해 완벽한 운영 및 최적의 성능을 보장합니다.